[发明专利]一种紫外偏振分光棱镜及其制备方法

权利要求书

1.一种紫外偏振分光棱镜，其特征在于，由包括两块长度相同且宽度相同的长方体棱镜胶合而成，且其中一块长方体棱镜的胶合面依次镀有引入光栅结构的偏振分光膜和二氧化硅保护膜。

2.根据权利要求1所述的一种紫外偏振分光棱镜，其特征在于：所述引入光栅结构的偏振分光膜(101)由涂胶、曝光、显影、刻蚀而成的介质光栅(102)与膜系结构(103)蒸镀得到。

3.根据权利要求2所述的一种紫外偏振分光棱镜，其特征在于：所述膜系结构(103)由氟化镧层和氟化镁层依次交替构成。

4.根据权利要求1所述的一种紫外偏振分光棱镜，其特征在于：所述长方体棱镜的材料为紫外熔融石英,CaF₂。

5.一种紫外偏振分光棱镜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1)选择两块长度相同且宽度相同的长方体棱镜，选取两块长方体棱镜面积相同的任一面进行抛光；

步骤2)在其中一块长方体棱镜的抛光面上镀设引入光栅结构的偏振分光膜，并在偏振分光膜(101)外镀二氧化硅保护膜(104)；

步骤3)将另一块长方体棱镜的抛光面与二氧化硅保护膜相对接触放置，并去除接触面的气泡，进行光胶，使两块长方体棱镜胶合；

步骤4)将胶合后零件放入高温炉中进行键合，键合温度为200～300℃，键合完后自然冷却。

6.根据权利要求5所述的紫外偏振分光棱镜的制备方法，其特征在于，还包括

步骤5)将胶合为一体的长方体棱镜以胶合面为对角面，上下分别切割为直角棱镜形状，将直角面进行抛光。

步骤6)依使用需求，在经抛光处理的两对直角面上镀设增透膜，或仅选择其中一对直角面镀设增透膜。

7.根据权利要求5所述的紫外偏振分光棱镜的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中在抛光面上镀设引入光栅结构的偏振分光膜，具体过程如下：

步骤2.1)清洗抛光面，将光刻胶旋涂于抛光面上，形成光刻胶层(105)；

步骤2.2)利用紫外光通过掩膜版照射光刻胶层表面进行曝光，然后除去曝光过的光刻胶层，保留未曝光部分的光刻胶层；

步骤2-3)对无光刻胶覆盖的熔石英棱镜进行刻蚀后，去除光刻胶，得到介质光栅(102)；

步骤2-4)最后在介质光栅上垂直蒸镀膜系结构(103)，得到引入光栅结构的偏振分光膜(101)。

8.根据权利要求5所述的紫外偏振分光棱镜的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中当光胶不成功的情况下，用石英粉加溶剂对二氧化硅保护膜面进行手工细抛来提高表面光洁度，以增加光胶成功概率。