[发明专利]一种平面抛光方法

说明书

一种平面抛光方法，实现所述方法的装置包括平行摆动机构和顶部摆动机构，所述平行摆动机构为曲柄摇杆机构，所述顶部摆动机构为曲柄滑块机构；所述平行摆动机构带动抓手在抛光盘上带动加工工件摆动；所述抓手呈圆弧状，两抓手的相对位置不变；所述抓手与工件夹具之间无间隔交错运行，设置一种增加工件运动随机性控制反馈系统。本发明以曲柄摇杆为核心原理的摆动机构，配合上端的往复平动的抓手，使得工件在抛光盘上的运动更加复杂无序，从而使得工件的抛光精度更高，也使得抛光盘的研磨更加均匀，寿命更长。

技术领域

本发明主要涉及平面抛光领域，具体涉及一种平面抛光方法。

背景技术

现今的电子工艺产品如水晶振子基片、硅片、铌酸锂基片等，不仅对表面平整度有极高的要求，而且也要求基板的两端平行且不具有晶体取向误差，根据传统的抛光方法，抛光模具的表面似乎符合要求，但其表面形状易于更换，需要进一步修改，而且传统的抛光方法加工时，操作者的加工工艺更加严格，所以使用传统的抛光方法生产效率低，难度更大。因此，为了保证元件的性能和降低抛光成本，目前这些电子元件最终采用超精密抛光技术进行处理。

超精密平面抛光机是用于各种精度要求很高的零件的加工机器，其工作时，电机带动主轴旋转，主轴再带动抛光盘旋转，而零件在抛光盘上做从动运动，但是其摩擦的轨迹比较单一，抛光效果不好，而且对抛光盘同一位置的磨损较严重，影响抛光盘的寿命。

发明内容

为了解决克服现有的平面抛光机的抛光效果不好、使用寿命较短的不足，本发明设计一种平面抛光方法，以曲柄摇杆为核心原理的摆动机构，配合上端的往复平动的抓手，使得工件在抛光盘上的运动更加复杂无序，从而使得工件的抛光精度更高，也使得抛光盘的研磨更加均匀，寿命更长。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种平面抛光方法，实现该方法的抛光装置包括平行摆动机构和顶部摆动机构，所述平行摆动机构为曲柄摇杆机构，所述顶部摆动机构为曲柄滑块机构；所述平行摆动机构包括调速制动电机、主动轮、皮带、从动轮、支撑杆、连接杆和抓手，所述调速制动电机带动主动轮，主动轮通过皮带带动从动轮转动，两连接杆分别于主从动轮联接，每个连接杆另一端分别与抓手联接，形成曲柄摇杆机构，从而带动抓手在抛光盘上带动加工工件摆动；所述抓手呈圆弧状，两抓手的相对位置不变；

所述抓手与工件夹具之间无间隔交错运行，设置一种增加工件运动随机性控制反馈系统，运行步骤如下：

第一步：系统先输入工件的厚度、粗糙度参数；

第二步：系统随机输入一个随机数；

第三步：将随机数设定为夹具运行距离；

第四步：判断所取的随机运动距离是否超出夹具可运行范围，若超出，则返回第二步；若未超出，则继续往下；

第五步：根据所选夹具运行距离设置抓手与上端夹具工作参数，包括两者工作时间、抓手与夹具的摆动速度；

第六步：根据所述设定的参数进行运行工作，完成工件加工并输出。

进一步，当抓手工作时，所述工件夹具不进行往复平动，位置正对于抛光盘圆心，夹具不夹紧工件，只起到保护作用，防止工件从上端飞出；当工件夹具工作时，夹具夹紧工件在抛光盘转动的同时带动工件做往复平动，此时的抓手处于静止不运动。

再进一步，针对不同工件和不同的抛光装置，工件的摆角不同，根据不同摆角，摇杆的摆角也相应可以取适当值，而曲柄与摇杆的长度应该满足：

其中，为摇杆的摆动角，a为曲柄长度，c为摇杆长度。