[发明专利]一种太赫兹高灵敏非对称波导法诺型传感器在审
| 申请号： | 201910491307.9 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110186868A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 陈麟;杜海波;涂德骅;朱亦鸣;黄镫辉;方浩睿;顾俊卿 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/3581 | 分类号： | G01N21/3581 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 第二测量 第一测量 非对称波导 测量单元 位移单元 支撑单元 板固定 传感器 法诺 灵敏 测量液体折射率 水平方向移动 板平行 支撑台 垂直 延伸 支撑 | ||
1.一种太赫兹高灵敏非对称波导法诺型传感器，配合使用TDS系统进行测量液体折射率，其特征在于，包括：
支撑单元、位移单元以及测量单元，
其中，所述支撑单元包括支撑台，
所述位移单元包括放置块，该放置块可以沿第一水平方向和第二水平方向移动，所述第一水平方向和所述第二水平方向相垂直，
所述测量单元包括第一测量板和第二测量板，
所述第一测量板固定在所述支撑台上，并且设置有第一凹槽，
所述第二测量板固定在所述放置块上，并且设置有第二凹槽，
所述第一测量板和所述第二测量板平行设置，
所述第一凹槽和所述第二凹槽的延伸方向相同。
2.根据权利要求1所述的太赫兹高灵敏非对称波导法诺型传感器，其特征在于：
其中，所述位移单元还包括第一千分尺和第二千分尺，所述第一千分尺包括第一测微螺杆，该第一测微螺杆和所述放置块固定连接，所述第一测微螺杆的移动进而带动所述放置块在所述第一水平方向上移动，所述第二千分尺包括第二测微螺杆，该第二测微螺杆和所述放置块固定连接，所述第二测微螺杆的移动进而带动所述放置块在所述第二水平方向上移动。
3.根据权利要求1所述的太赫兹高灵敏非对称波导法诺型传感器，其特征在于：
其中，所述第一凹槽为U形通槽。
4.根据权利要求1所述的太赫兹高灵敏非对称波导法诺型传感器，其特征在于：
其中，所述第二凹槽为U形通槽。
5.根据权利要求3所述的太赫兹高灵敏非对称波导法诺型传感器，其特征在于：
其中，所述第二凹槽上设置有密闭材料，使得所述第二凹槽内可以存放液体。
6.根据权利要求1所述的太赫兹高灵敏非对称波导法诺型传感器，其特征在于：
其中，所述第一测量板和所述第二测量板之间的第二水平方向距离在500um～800um之间。
7.根据权利要求1所述的太赫兹高灵敏非对称波导法诺型传感器，其特征在于：
其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽之间的第一水平方向错位距离在10um～100um之间。
8.根据权利要求1所述的太赫兹高灵敏非对称波导法诺型传感器，其特征在于：
其中，所述测量单元还包括角度微调平台，
所述角度微调平台固定在所述支撑台上，
所述第一测量板固定在所述角度微调平台上。
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