[发明专利]气体感测装置、包括其的电子装置以及气体感测系统

权利要求书

1.一种气体感测系统，所述气体感测系统包括：

驱动电路芯片；

气体传感器，位于驱动电路芯片上，气体传感器包括第一谐振器和第一感测膜，第一感测膜位于第一谐振器上使得第一感测膜暴露于气体感测系统的外部，第一感测膜被配置为感测第一气体以产生气体感测结果；

温度传感器，位于驱动电路芯片上，温度传感器包括第二谐振器和封装层，封装层位于第二谐振器上方使得第二谐振器不暴露于气体感测系统的外部，温度传感器被配置为感测温度以产生温度感测结果；以及

湿度传感器，位于驱动电路芯片上，湿度传感器包括第三谐振器，湿度传感器被配置为感测湿度以产生湿度感测结果，其中，

气体感测系统被配置为基于温度感测结果和湿度感测结果中的至少一个来调整气体感测结果以生成气体感测信号。

2.根据权利要求1所述的气体感测系统，其中，驱动电路芯片包括：

校准电路，被配置为通过基于温度传感器的温度感测结果和湿度传感器的湿度感测结果中的所述至少一个调整气体传感器的气体感测结果来生成气体感测信号。

3.根据权利要求2所述的气体感测系统，其中，校准电路被配置为：

通过从由气体感测结果引起的第一频率变化减去由温度感测结果引起的第二频率变化和由湿度感测结果引起的第三频率变化中的至少一个来产生频率变化，以及

基于所述产生的频率变化生成气体感测信号。

4.根据权利要求1所述的气体感测系统，所述气体感测系统还包括：

应用处理器，被配置为，

接收来自气体传感器的第一感测信号，

接收来自温度传感器的第二感测信号，

接收来自湿度传感器的第三感测信号，并且

基于第二感测信号和第三感测信号中的至少一个来调整第一感测信号，以生成气体感测信号。

5.根据权利要求1所述的气体感测系统，所述气体感测系统还包括：

云服务器，被配置为，

接收来自气体传感器的第一感测信号，

接收来自温度传感器的第二感测信号，

接收来自湿度传感器的第三感测信号，并且

基于第二感测信号和第三感测信号中的至少一个来调整第一感测信号，以生成气体感测信号。

6.根据权利要求1所述的气体感测系统，其中，气体传感器、温度传感器和湿度传感器被实现为单独的传感器芯片。

7.根据权利要求1所述的气体感测系统，其中，第一谐振器、第二谐振器和第三谐振器中的每个包括膜体声波谐振器。

8.根据权利要求1所述的气体感测系统，其中，在温度传感器中，封装层封装第二谐振器，使得空气腔位于第二谐振器与封装层之间，并且第二谐振器包括:

下电极；

压电层，位于下电极上；以及

上电极，位于压电层上。

9.根据权利要求1所述的气体感测系统，所述气体感测系统还包括：

(i)位于驱动电路芯片上的包括第四谐振器的压力传感器和(ii)位于驱动电路芯片上的包括第五谐振器的光学传感器中的至少一个，压力传感器被配置为感测压力以产生压力感测结果，光学传感器被配置为感测光以产生光学感测结果，其中，

驱动电路芯片被配置为基于压力感测结果和光学感测结果中的至少一个来调整气体感测结果，以生成气体感测信号。

10.根据权利要求1所述的气体感测系统，所述气体感测系统还包括：

漂移补偿传感器，位于驱动电路芯片上，漂移补偿传感器包括第六谐振器，第六谐振器上未涂覆感测膜，漂移补偿传感器被配置为产生漂移感测结果，其中，

驱动电路芯片被配置为基于漂移感测结果来调整气体感测结果以生成气体感测信号。