[发明专利]一种轻型大口径连续薄膜变形镜及其制造方法

权利要求书

1.一种轻型大口径连续薄膜变形镜，包括镜面层(1)，其特征在于：镜面层(1)的上侧均匀镀有反射镀膜层(2)，镜面层(1)的下方粘接有两面覆盖有电极层的活性层(4)，活性层(4)上下两侧分别覆盖有上电极层(3)和下电极层(5)，反射镀膜层(2)、镜面层(1)、两面覆盖有电极层的活性层(4)构成变形镜本体，变形镜本体通过夹持组件(6)固定，上电极层(3)和下电极层(5)通过电极引线与外电源连接；

所述的镜面层(1)为一个圆柱体，直径为10～300mm，厚度为0.05～10mm；

所述的镜面层(1)材料为硅片、石英玻璃片或金属片；

所述的镜面层(1)上面设有微尺度柔性铰链结构，微尺度柔性铰链结构为绕圆心均布的扇形阵列凹槽(7)；

所述的活性层(4)为一个圆柱体，直径与镜面层1直径相同，厚度为0.02～1mm；

所述的活性层(4)为压电复合材料薄膜；

所述的上电极层(3)为与活性层(4)直径相同的圆形电极层，所述的下电极层(5)采用图案化电极(8)；

所述的反射镀膜层(2)为具有高反射率的金属膜或者介质膜；

所述的变形镜本体的下面采用液体或者气体支撑预紧方式。

2.根据权利要求1所述的一种轻型大口径连续薄膜变形镜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1)：使用干法刻蚀工艺，将镜面层(1)刻出扇形阵列凹槽(7)；

步骤2)：将上电极层(3)均匀地溅射在镜面层(1)下侧；

步骤3)：对镜面层(1)下侧进行等离子表面处理，然后使用匀胶机，将压电复合材料均匀平整地铺在上电极层(3)的下侧，并且真空加热，从而完成活性层(4)的制备；

步骤4)：将下电极层(5)均匀地溅射在活性层(4)下侧，接着对活性层(4)进行数次极化处理，改善活性层(4)的压电性能；

步骤5)：利用掩膜光刻法将步骤4)中的下电极层(5)刻成图案化电极(8)；

步骤6)：将反射镀膜层(2)均匀地溅射在镜面层(1)上侧，然后将电极引线(9)依次连接在上电极层(3)和下电极层(5)的图案化电极(8)上，完成变形镜的制造。