[发明专利]显影槽及控制显影槽的显影液导电率的方法在审
| 申请号： | 201910492197.8 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110262196A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 罗进成 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显影槽 显影液 导电率 槽体 水份 补充 显示面板 中间区段 自动补充 容置 显影 制程 | ||
1.一种显影槽，所述显影槽用于显示面板的显影制程，其特征在于，包括:
槽体，用以容置显影液，其具有顶部、与所述顶部相对的底部、及夹设于所述顶部与所述底部之间的中间区段；
第一管路，用以补充新显影液至所述槽体的所述中间区段；以及
第二管路，用以补充水份至所述槽体的所述底部。
2.如权利要求1所述的显影槽，其特征在于，所述显影槽包括第三管路，所述第三管路用以自所述槽体的所述顶部提供所述显影液至喷嘴。
3.如权利要求2所述的显影槽，其特征在于，所述显影槽包括复数传感器，所述复数传感器通过复数第四管路感测所述槽体的所述中间区段的显影液参数。
4.如权利要求3所述的显影槽，其特征在于，所述显影槽包括排放口，所述排放口通过第五管路自所述槽体的所述底部排出所述显影液。
5.如权利要求4所述的显影槽，其特征在于，所述槽体的所述底部装设有加热器。
6.一种控制显影槽的显影液导电率的方法，所述显影槽用于显示面板的显影制程，其特征在于，包括:
提供槽体以容置所述显影液，所述槽体具有顶部、与所述顶部相对的底部、及夹设于所述顶部与所述底部之间的中间区段；
提供第一管路连通至所述槽体的所述中间区段，使所述第一管路用以补充新显影液至所述槽体的所述中间区段；以及
提供第二管路连通至所述槽体的所述底部，使所述第二管路用以补充水份至所述槽体的所述底部；
其中，于补充所述新显影液至所述槽体的所述中间区段的步骤前，先进行补充所述水份至所述槽体的所述底部的步骤。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述显影槽包括第三管路，所述第三管路用以自所述槽体的所述顶部提供所述显影液至喷嘴。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述显影槽包括复数传感器，所述复数传感器通过复数第四管路感测所述槽体的所述中间区段的显影液参数。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述显影槽包括排放口，所述排放口通过第五管路自所述槽体的所述底部排出所述显影液。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述槽体的所述底部装设有加热器。
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