[发明专利]显示面板及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201910492321.0 申请日: 2019-06-06
公开(公告)号: CN110265440A 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 景小红 申请(专利权)人: 惠州市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368;G02F1/1362;G02F1/1333
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 516006 广东省惠州市仲恺高新*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 金属连接 薄膜晶体管层 显示面板 衬底 制作 开口 发光结构 金属走线 电连接 通孔 申请 暴露
【权利要求书】:

1.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括:

柔性衬底;

薄膜晶体管层,所述薄膜晶体管层位于所述柔性衬底的一侧表面上;

发光结构,所述发光结构位于所述薄膜晶体管层上,与所述薄膜晶体管层电连接;其中,

所述薄膜晶体管层具有至少一个金属连接区,所述至少一个金属连接区位于所述薄膜晶体管层与所述柔性衬底相邻的表面上,所述薄膜晶体管层中的金属走线通过通孔与所述至少一个金属连接区电连接;

所述柔性衬底具有至少一个开口,所述至少一个开口与所述至少一个金属连接区对应设置,暴露出所述至少一个金属连接区。

2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括至少一个控制芯片,所述至少一个控制芯片位于所述柔性衬底背离所述薄膜晶体管层的表面上,通过所述至少一个金属连接区与所述薄膜晶体管层电连接。

3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管层包括:

缓冲层,所述缓冲层设置在所述柔性衬底上,覆盖所述至少一个金属连接区;

多个独立设置的有源区,每一个所述有源区包括沟道区和位于所述沟道区两侧的源漏区;

栅极介质层,所述栅极介质层覆盖所述多个有源区;

栅极金属层,所述栅极金属层位于所述栅极介质层上方,与所述多个有源区对应设置;

层间介质层,所述层间介质层覆盖所述多个有源区和栅极金属层;

源漏金属层,所述源漏金属层位于所述层间介质层上方。

4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述至少一个金属连接区包括第一金属连接区和第二金属连接区。

5.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述栅极金属层通过第一通孔与所述第一金属连接区电连接。

6.根据权利要求4所述的显示面板,其特征在于,所述源漏金属层通过第二通孔与所述第二金属连接区电连接。

7.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板还包括至少一个柔性电路板,每一个所述柔性电路板的一端连接所述金属连接区,另一端连接所述控制芯片。

8.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板为液晶显示面板。

9.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板为有机自发光二极管显示面板。

10.一种显示面板的制作方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

提供柔性衬底;

形成薄膜晶体管层,所述薄膜晶体管层位于所述柔性衬底的一侧表面上,所述薄膜晶体管层具有至少一个金属连接区,所述至少一个金属连接区位于所述薄膜晶体管层与所述柔性衬底相邻的表面上,所述薄膜晶体管层中的金属走线通过通孔与所述至少一个金属连接区电连接;

形成发光结构,所述发光结构位于所述薄膜晶体管层上,与所述薄膜晶体管层电连接;

在所述柔性衬底上形成至少一个开口,所述至少一个开口与所述至少一个金属连接区对应设置,暴露出所述至少一个金属连接区;

提供控制芯片,所述至少一个控制芯片位于所述柔性衬底背离所述薄膜晶体管层的表面上,通过所述至少一个金属连接区与所述薄膜晶体管层电连接。

11.根据权利要求10所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述至少一个金属连接区包括第一金属连接区和第二金属连接区。

12.根据权利要求11所述的显示面板的制作方法,其特征在于,形成所述薄膜晶体管的方法包括:

形成至少一个金属连接区,所述至少一个金属连接区位于所述薄膜晶体管层与所述柔性衬底相邻的表面上;

形成缓冲层,所述缓冲层设置在所述柔性衬底上,覆盖所述至少一个金属连接区;

形成多个独立设置的有源区,每一个所述有源区包括沟道区和位于所述沟道区两侧的源漏区;

形成栅极介质层,所述栅极介质层覆盖所述多个有源区,所述栅极金属层通过第一通孔与所述第一金属连接区电连接;

形成栅极金属层,所述栅极金属层位于所述栅极介质层上方,与所述多个有源区对应设置;

形成层间介质层,所述层间介质层覆盖所述多个有源区和栅极金属层;

形成源漏金属层,所述源漏金属层位于所述层间介质层上方。所述源漏金属层通过第二通孔与所述第二金属连接区电连接。

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