[发明专利]缺陷检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：

基座，用于放置待检测晶圆；

第一光源，用于向所述待检测晶圆发射入射光，所述入射光经待检测晶圆的反射形成第一反射光；

第一数据处理单元，用于通过第一反射光获取偏振信息；

偏振装置，用于根据所述偏振信息将所述第一反射光转化为第一光学信号；

第二数据处理单元，用于通过第一光学信号获取待检测晶圆的缺陷信息。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，偏振信息包括：最佳偏振角度。

3.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一数据处理单元包括：

第一信号获取模块，用于通过接收到的第一反射光获取第一反射光的灰度值位置特征曲线；

缺陷模型，用于根据第一反射光的灰度值位置特征曲线获取偏振信息。

4.根据权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷模型是灰度值位置特征曲线与偏振信息之间的第一类关系函数。

5.根据权利要求3所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一数据处理单元还包括：存储模块，用于获取所述第一反射光的灰度值位置特征曲线后，对所述第一反射光的灰度值位置特征曲线进行存储。

6.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述偏振装置包括：偏振器和微调装置，所述微调装置根据偏振信息调整偏振器的位置，使得所述偏振器具有特定偏振角度；偏振器，用于通过具有特定偏振角度的部分第一反射光，以形成第一光学信号。

7.根据权利要求6所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述微调装置根据所述偏振信息调整偏振器的位置时，使得偏振器从预设状态变化到具有特定偏振角度的状态。

8.根据权利要求6所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一光学信号为第一反射光经过偏振器后所形成的偏振光的灰度值位置特征曲线。

9.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，还包括：晶圆对焦系统，包括：成像单元，用于获取待检测晶圆表面不同位置的成像图案；传感器，用于获取所述待检测晶圆在第一方向上的位置信息，所述第一方向垂直于所述待检测晶圆表面。

10.根据权利要求9所述的缺陷检测装置，其特征在于，还包括：控制系统，包括：成像运算单元，用于根据待检测晶圆表面不同位置的成像图案获取所述待检测晶圆的位置信息；第一位置控制单元，用于根据所述位置信息沿平行基准平面的方向移动所述基座，所述基准平面平行于所述待检测晶圆表面。

11.根据权利要求9所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述控制系统包括：第二位置控制单元，用于根据所述第一方向上的位置信息移动所述基座，以实现入射光在所述待检测晶圆表面对焦。

12.如权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述第一光源包括激光发射器。

13.一种采用如权利要求1至12任一项上述的缺陷检测装置进行的检测方法，其特征在于，包括：

提供待检测晶圆；

将所述待检测晶圆放置到基座表面；

通过所述第一光源发射入射光，所述入射光经待检测晶圆的反射形成第一反射光；

通过所述第一反射光获取偏振信息；

通过所述偏振信息，获取第一光学信号；

通过所述第一光学信号获取待检测晶圆的缺陷信息。

14.根据权利要求13所述的检测方法，其特征在于，通过第一反射光获取偏振信息的过程包括：通过接收到的第一反射光，获取第一反射光的灰度值位置特征曲线；通过缺陷模型，获取与所述第一反射光的灰度值位置特征曲线对应的偏振信息。

15.根据权利要求14所述的检测方法，其特征在于，获得所述缺陷模型的方法包括：

提供若干类型的缺陷结构，每一类型的缺陷结构包括若干待测缺陷；

对每一类型的缺陷结构中的若干待测缺陷进行光学扫描，获取所述若干待测缺陷对应的若干反射光信号；

以若干不同偏振角度对每个反射光信号进行偏振，获取所述反射光信号对应的多个偏振光信号；

获取所述多个偏振光信号中的待定偏振光信号以及所述待定偏振光信号对应的待定偏振角度，所述待定偏振光信号在所述多个偏振光信号中灰度值最大；

以所述待定偏振角度对所述若干待测缺陷对应的若干反射光信号进行偏振，获取所述待定偏振角度的检出率；

获取若干待测缺陷对应的若干待定偏振角度中最佳偏振角度，所述最佳偏振角度为检出率最大的待定偏振角度；

获取若干类型的缺陷结构对应的最佳偏振角度，以及所述最佳偏振角度对应的待定偏振光信号的灰度值。