[发明专利]一种清理炉管碎片的耙子在审
申请号: | 201910495622.9 | 申请日: | 2019-06-10 |
公开(公告)号: | CN110106495A | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 刘文国;苏世杰;熊志宏;陈绍光;郑亚博 | 申请(专利权)人: | 通威太阳能(合肥)有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/513 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 叶春娜 |
地址: | 230088 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 耙头 特氟龙 炉管 固定块 耙子 不锈钢 不锈钢手柄 不锈钢材料 特氟龙材料 手柄 侧壁连接 垂直连接 方便操作 移动设置 热电偶 推动杆 伸缩 侧槽 提拉 贴合 损伤 贯通 配合 | ||
本发明公开了一种清理炉管碎片的耙子,包括特氟龙耙头和不锈钢手柄,所述特氟龙耙头一侧侧壁连接有不锈钢固定块,所述特氟龙耙头和不锈钢固定块上贯通开设有U型缺口,所述不锈钢固定块远离特氟龙耙头一侧垂直连接有不锈钢手柄,且侧槽中移动设置有调节块,所述调节块与配合块固定连接。本发明的耙头使用特氟龙材料,手柄使用不锈钢材料,既可以减少对炉管的损伤,也可以防止耙子本身的损坏,而且能够很好的调节U型缺口的实际使用尺寸的大小,从而更好的应对不同尺寸的炉管内热电偶,并且通过推动杆的提拉伸缩,直接控制调节块进行贴合和分离,使用起来十分方便操作,且调节效果更好。
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产PECVD技术领域,具体为一种清理炉管碎片的耙子。
背景技术
目前,现有的太阳能电池生产PECVD工序,通常使用的为管式PECVD。在管式PECVD生产过程中,需要把插满硅片的石墨舟送进炉管,待镀膜结束后在把石墨舟拉出来,插满硅片的石墨舟每次在炉管里面的时间为30分钟左右,炉管内温度在450℃左右,1)硅片受在升温降温的过程中因热胀冷缩,少部分质量差的硅片会碎裂从而掉在炉管内;2)硅片插进石墨舟是通过石墨舟上的三个定位柱固定的,硅片如果没插好会造成碎片或整张硅片掉在炉管内。如果不清理炉管内的碎片,碎片在炉管里面堆积过多,就会影响炉管内温度分布的均匀性,进而影响镀膜颜色的均匀性,碎片如果太多,石墨舟放在炉管内,石墨舟的底部接触炉管内的碎片,从而导致石墨舟的舟片之间短路不能完成镀膜,所以需要定期进行清理炉管内的碎片。
但是目前所使用的炉管内清洗工具,在使用过程中仍然存在较为明显的缺陷。如申请号为“201620321891.5”的一种炉管管内碎片清理辅助装置,所述清理辅助装置与扩散炉配套使用,所述扩散炉包括桨杆,所述清理辅助装置由石英耙头及石英连接头组成,所述石英耙头底部为U型耙头,所述U型耙头底侧中部设置有开口,所述石英连接头的一端固定在石英耙头的侧端面,石英连接头的另一端与桨杆固定安装。
上述该炉管管内碎片清理工具在使用过程中,仍然存在以下几点缺陷:1、由于炉管是用石英做成的,清理碎片的耙子不能使用硬度太大的材料,否则容易对炉管造成损伤,之前用的耙子从耙头到手柄全部是用石英做成的,石英属于易碎材质,在使用的过程中耙子容易损坏;2、U型耙头底侧中部设置的开口用来贴合炉管内热电偶进行使用,但是开口的大小尺寸无法进行调节,如果开口过大,在贴合热电偶时容易发生左右松动造成热电偶损坏,如果开口过小,热电偶无法很好的贴合在开口内部,调节起来非常不方便。
发明内容
本发明的目的在于提供一种清理炉管碎片的耙子,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种清理炉管碎片的耙子,包括特氟龙耙头和不锈钢手柄,所述特氟龙耙头一侧侧壁连接有不锈钢固定块,所述特氟龙耙头和不锈钢固定块上贯通开设有U型缺口,所述不锈钢固定块远离特氟龙耙头一侧垂直连接有不锈钢手柄。
优选的,所述不锈钢固定块和特氟龙耙头通过紧固螺钉固定连接。
优选的,所述不锈钢固定块远离特氟龙耙头一侧侧壁上开设有操作孔,所述操作孔中移动设置有主动块,所述主动块中开设有块槽,所述块槽中转动插设有主动轴,所述主动轴上固定连接有铰接杆,所述铰接杆远离主动轴一端设置有推动杆上,所述推动杆活动插设于不锈钢手柄中,且所述推动杆上开设有杆槽,所述杆槽中转动插设有从动轴,所述从动轴与铰接杆固定连接;
所述不锈钢固定块远离操作孔一侧开设有配合槽,所述配合槽中移动设置有配合块,所述配合块与主动块固定连接;
所述特氟龙耙头靠近不锈钢固定块一侧开设有侧槽,所述侧槽对称开设在U型缺口两侧侧壁中,且侧槽中移动设置有调节块,所述调节块与配合块固定连接。
优选的,所述调节块远离配合块一侧设置有缓冲层。
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