[发明专利]晶片传送单元和晶片传送系统

权利要求书

1.一种晶片传送单元，其具有：至少一个数据处理单元（10），所述至少一个数据处理单元（10）至少设置用于记录和/或处理传感器模块（14，14'）的与晶片传送系统（16）的至少一个子部件相关联的至少一个传感器（12，12'，12''，32，32'，38，38'）的传感器数据；所述晶片传送系统（16）的至少一个晶片处理模块（18）；所述晶片传送系统（16）的至少一个晶片接口系统（20），所述晶片接口系统（20）具有晶片运输容器（22）和用于装载和/或卸载所述晶片运输容器（22）和/或所述晶片处理模块（18）的装载和/或卸载站（24）；所述晶片传送系统（16）的至少一个晶片运输容器运输系统（26）；和/或所述晶片传送系统（16）的至少一个晶片搬运机器人（28）；其中所述数据处理单元（10）具有至少一个预测模块（30），所述预测模块（30）至少设置成，至少基于所述传感器（12，12'，12''，32，32'，38，38'）的传感器数据和/或基于借助所述传感器（12，12'，12''，32，32'，38，38'）确定的至少一个参数值生成用于未来结果和/或未来事件的预测，并且至少设置成，基于所述传感器（12，12'，12''，32，32'，38，38'）的传感器数据的至少一个过程生成用于所述传感器数据的未来过程的预测，并且其中借助所述晶片运输容器运输系统（26）的所述晶片运输容器（22）的物流的控制是通过控制和/或调节单元（34）基于由所述预测模块（30）生成的预测进行的，其中所述传感器模块（14）与所述晶片运输容器（22）相关联，并且所述传感器模块（14）的所述传感器（12，32，38）设置成感测所述晶片运输容器（22）的内部（106）的环境参数，即在所述晶片运输容器（22）的所述内部（106）中占主导的气氛的环境参数。

2.根据权利要求1所述的晶片传送单元，其特征在于，所述预测模块（30）至少设置成，根据至少两个传感器（12，12'，12''，32，32'，38，38'）的传感器数据的组合和/或比较生成用于未来事件、用于未来结果和/或用于至少一个传感器数据集的未来过程的预测。

3.根据权利要求1或2所述的晶片传送单元，其特征在于，所述预测模块（30）从所确定的传感器数据的未来过程生成用于至少一个时间段的预测，所述至少一个时间段一直持续到所述传感器数据偏离安全数据范围。

4.根据权利要求1或2所述的晶片传送单元，其特征在于，所述预测模块（30）设置成，根据至少一个传感器数据集执行模式识别，用于至少生成预测。

5.根据权利要求1或2所述的晶片传送单元，其特征在于，所述控制和/或调节单元（34）至少设置成，基于所述预测模块（30）的预测启动所述晶片传送系统（16）的至少一个子部件的至少一个参数的至少一个适配。

6.根据权利要求1或2所述的晶片传送单元，其特征在于，所述控制和/或调节单元（34）至少设置成，借助晶片运输容器运输系统（26）至少基于传感器数据控制和/或调节至少一个晶片运输容器（22）的物流。

7.根据权利要求1所述的晶片传送单元，其特征在于，所述控制和/或调节单元（34）设置成，防止所述晶片运输容器（22）的至少一个参数偏离安全数据范围。