[发明专利]光束弯折器

权利要求书

1.一种光束弯折器，包括：

具有内侧曲面的内电极；

具有外侧曲面的外电极；和

控制器，所述控制器被配置为对所述内电极和所述外电极中的每一个施加不同的电位以产生电场，所述电场使通过所述内侧曲面与所述外侧曲面之间的电子射线弯曲，该光束弯折器的特征在于，

其中，设定成：在沿着通过所述内侧曲面与所述外侧曲面之间的所述电子射线的行进方向的第一剖面中，所述内侧曲面的曲率和所述外侧曲面的曲率分别恒定，所述内侧曲面的曲率中心与所述外侧曲面的曲率中心一致，

设定成：在与所述电子射线的行进方向垂直的第二剖面中，所述内侧曲面的曲率和所述外侧曲面的曲率分别恒定，所述内侧曲面的曲率中心与所述外侧曲面的曲率中心一致，

所述第二剖面中的所述内侧曲面的曲率半径被设定得比所述第一剖面中的所述内侧曲面的曲率半径大，

所述第二剖面中的所述外侧曲面的曲率半径被设定得比所述第一剖面中的所述外侧曲面的曲率半径大，并且

其中所述控制器进一步被配置为：

测量偏移距离，所述偏移距离由第一交叉点与第二交叉点之间的距离限定，所述第一交叉点为第一电子射线与所述第一剖面中的电子射线的中心轨道交叉的位置，所述第二交叉点为第二电子射线与所述中心轨道交叉的位置；

当所述第一交叉点与所述第二交叉点之间的位置的偏移大于最小值时，调整施加到所述内电极和所述外电极的电压，以减小偏移距离。

2.根据权利要求1所述的光束弯折器，其特征在于，

在所述第二剖面中，通过所述内侧曲面的中心位置的所述内侧曲面的法线与通过所述外侧曲面的中心位置的所述外侧曲面的法线一致，所述电子射线通过的位置被设定在所述法线上，所述内侧曲面的曲面形状具有以所述法线为中心的对称形状，所述外侧曲面的曲面形状具有以所述法线为中心的对称形状。

3.根据权利要求1所述的光束弯折器，其特征在于，

所述第一电子射线和所述第二电子射线平行地入射到所述内侧曲面与所述外侧曲面之间的位置,并且分别相对于电子射线的中心轨道离开规定的距离。

4.根据权利要求1所述的光束弯折器，其特征在于，

所述第二剖面中的所述内侧曲面的曲率半径被设定得比所述第一剖面中的所述内侧曲面的曲率半径的1倍大、且为所述第一剖面中的所述内侧曲面的曲率半径的3倍以下，

所述第二剖面中的所述外侧曲面的曲率半径被设定得比所述第一剖面中的所述外侧曲面的曲率半径的1倍大、且为所述第一剖面中的所述外侧曲面的曲率半径的3倍以下。