[发明专利]一种喷墨离心制备柔性薄膜光电器件的方法在审
申请号: | 201910497276.8 | 申请日: | 2019-06-06 |
公开(公告)号: | CN112054125A | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 杜金红;张伟民;韦覃伟;任文才;裴嵩峰;成会明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | H01L51/44 | 分类号: | H01L51/44;H01L51/48;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 喷墨 离心 制备 柔性 薄膜 光电 器件 方法 | ||
本发明涉及薄膜光电器件的制备和应用领域,具体为一种利用喷墨离心设备高效制备柔性薄膜光电器件的方法。首先,将柔性基底贴附在喷墨离心设备的离心筒上;然后,控制离心筒高速旋转并将墨水喷射到柔性基底上,利用离心力将墨水均匀涂覆在柔性基底表面,原位加热固化成膜;转换墨水通道,重复上述步骤,从而实现不同功能薄膜的层层叠加;最后,通过喷射导电墨水或蒸镀金属等制作顶电极,进而实现大面积柔性薄膜光电器件的制备。本发明不仅溶液利用率高、操作简便、成本低,而且可实现全溶液法制备柔性薄膜光电器件,可广泛用于量子点发光二极管、有机太阳能电池等柔性薄膜光电器件的制备。
技术领域
本发明涉及薄膜光电器件的制备和应用领域,具体为一种利用喷墨离心设备高效制备柔性薄膜光电器件的方法。
背景技术
柔性薄膜光电器件,包括有机/量子点发光二极管、有机/钙钛矿太阳能电池等,具有轻便可折叠等特点,在信息、能源、医疗、国防等领域具有广阔的应用前景。
目前,溶液法仍然是大面积、低成本制备柔性薄膜光电器件的最有效方法之一。其中,旋涂和喷墨打印是典型的溶液成膜方法。旋涂是将溶液滴加到目标基底上,利用匀胶机的离心力将溶液甩开,使其快速铺展成膜的方法,具有高效、廉价、易操作的特点,但是溶液利用率低,而且所得薄膜厚度沿径向呈梯度分布,限制薄膜器件的大面积制备。喷墨打印是将墨水通过微米孔径喷嘴喷射到基底表面成膜,具有溶液利用率高的特点,但是对墨水要求高、工作效率低,而且咖啡环效应所引起的表面不均匀等问题有待改进。
发明内容
本发明的目的在于提供一种喷墨离心制备柔性薄膜光电器件的方法,利用喷墨离心设备将喷射的墨水均匀涂覆在柔性基底表面,通过转换墨水通道喷射不同的墨水,实现不同功能薄膜的层层叠加,进而实现大面积柔性薄膜光电器件的高效制备。不仅操作简便、成本低、溶液利用率高,而且可实现柔性薄膜光电器件的全溶液法制备。该方法还具有较强的普适性,可广泛用于量子点发光二极管、有机太阳能电池等柔性薄膜光电器件的制备。
本发明的技术方案是:
一种喷墨离心制备柔性薄膜光电器件的方法,包括如下步骤:
(1)将柔性基底贴附在喷墨离心设备的离心筒上;
(2)控制离心筒旋转并将墨水喷射到柔性基底上,在离心力的作用下均匀涂覆在柔性基底表面,原位加热固化成膜;
(3)转换墨水通道并重复上述步骤,从而实现不同功能薄膜的层层叠加;
(4)通过喷射导电墨水、蒸镀金属、磁控溅射或干法转移导电薄膜方法制作顶电极,进而实现大面积柔性薄膜光电器件的制备。
所述的喷墨离心制备柔性薄膜光电器件的方法,所用喷墨离心设备包括:喷墨系统、离心筒、加热装置、控制系统、墨水喷射装置,喷墨系统的墨水喷射装置通过管道与离心筒内近表面处的喷头连接,加热装置固定在离心筒内表面附近;喷墨系统、离心筒、加热装置分别通过导线连接控制系统,离心筒、喷墨系统的动力源以及加热装置的功率都受控制系统控制。
所述的喷墨离心制备柔性薄膜光电器件的方法,喷墨系统同时装有1~10个独立墨水喷射装置,可自动转换;离心筒直径为5~50cm,离心筒转速为400~4000rpm,加热温度为50~200℃。
所述的喷墨离心制备柔性薄膜光电器件的方法,墨水浓度为0.1~20mg/mL,墨水喷射速度为2~40mL/min。
所述的喷墨离心制备柔性薄膜光电器件的方法,通过转换墨水通道喷墨离心,实现不同功能薄膜的层层叠加,各功能薄膜的厚度范围为5~500nm。
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