[发明专利]用于处理基板的装置和方法

说明书

一种使用基板处理装置处理基板的方法，所述基板处理装置包括处理模块和索引模块，所述索引模块在容器和所述处理模块之间传送基板，其中所述处理模块中设置有多个处理腔室和主传送机械手，所述索引模块中设置有容器安装台和在所述容器和所处理模块之间传送基板的索引机械手，所述方法包括在所述基板处理装置中发生电源故障时执行电源故障后处理操作，以及其后停止所述基板处理装置的操作。当所述主传送机械手或所述索引机械手在电源故障的情况下传送所述基板时，所述电源故障后处理操作包括继续维持所述主传送机械手或所述索引机械手的传送直到完成所述传送的操作。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2018年6月7日提交韩国工业产权局、申请号为10-2018-0065590的韩国专利申请的优先权和权益，其全部内容通过引用结合在本申请中。

技术领域

本文中描述的本发明构思的实施方式涉及一种用于处理基板的装置和方法。

背景技术

为了制造半导体设备，执行例如光刻、蚀刻、灰化、离子注入、薄膜沉积、清洁等不同工艺以在基板上形成所需的图案。然而，在处理期间由于意想不到的原因发生电源故障或火灾的情况下，制造设备(fabrication facility,FAB)中的所有装置停止操作，使得室温下的空间中的基板被损坏。此外，工艺进程中的机械手也停止操作，并因此在随后电源故障解除时难以执行后处理。

发明内容

本发明构思的实施方式提供一种基板处理装置以及当发生紧急情况时通过执行后处理来保护基板和设备的方法。

本发明构思的实施方式提供一种基板处理装置以及当发生紧急情况时通过执行后处理，以在恢复紧急情况时，容易地执行后处理的方法。

根据一示例性的实施方式，一种使用基板处理装置处理基板的方法，所述基板处理装置包括处理基板的处理模块，以及索引模块，其设置在所述处理模块附近并在其中容纳所述基板的容器和所述处理模块之间传送所述基板，所述方法包括在所述基板处理装置中发生电源故障时，执行电源故障后处理操作，以及其后停止所述基板处理装置的操作。

所述处理模块中设置有处理所述基板的多个处理腔室，以及在所述多个处理腔室之间传送所述基板的主传送机械手；所述索引模块中设置有所述容器放置在其上的容器安装台，以及在所述容器和处理模块之间传送所述基板的索引机械手。

当所述主传送机械手或所述索引机械手在所述电源故障的情况下传送所述基板时，所述电源故障后处理操作可包括继续维持所述主传送机械手或所述索引机械手的传送直到完成所述传送的操作。

可允许所述主传送机械手或所述索引机械手的传送以完成预定的传送循环。

完成所述传送之后，可将所述主传送机械手或所述索引机械手移动至安全位置。

在本发明构思中，所述电源故障后处理操作可包括在所述电源故障的情况下门打开时，关闭放置在所述容器安装台上的所述容器的门的操作。

所述电源故障后处理操作可包括在电源故障的情况下在待机时间维持控制器的电力，以及在维持电源故障直到待机时间过去时中断所述控制器的电力的操作。

在所述基板处理方法中，通过使用电源故障检测传感器来确定电源故障是否发生。

根据示例性实施方式，用于处理基板的装置包括处理模块，其具有多个处理腔室；盒式容器，待经受处理的所述基板存储在盒式容器中；索引模块，其在所述盒式容器和所述处理模块之间传送所述基板；主控制器，其执行所述处理的总控制；机械手控制器，其控制在所述盒式容器和所述处理模块之间传送所述基板的索引机械手，以及在所述处理模块的所述多个处理腔室之间传送所述基板的主传送机械手；腔室控制器，其控制所述处理模块中的所述处理腔室；以及应急单元，当发生紧急情况时，其控制待执行的后处理操作。

所述应急单元可包括电源故障检测传感器。