[发明专利]一种恒温液槽有效

专利信息
申请号: 201910497912.7 申请日: 2019-06-10
公开(公告)号: CN112058332B 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 杜留洋;韩强 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: B01L7/02 分类号: B01L7/02
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 恒温
【权利要求书】:

1.一种恒温液槽,其特征在于,包括:

液体循环模块、换热模块以及控制模块;

其中,所述液体循环模块为密闭结构;所述液体循环模块包括水箱、液体管道、水泵以及隔热板;所述液体管道包括回字形管道,所述回字形管道的入水口与所述水泵的出水口连接,所述回字形管道的出水口与所述水箱的入水口连接,所述水箱的出水口与所述水泵的入水口连接,所述回字形管道绕所述水箱一周设置;所述隔热板设置于所述水箱和所述回字形管道之间;

所述换热模块包括第一热电组件和第二热电组件,所述第一热电组件和所述第二热电组件分别紧贴于所述回字形管道相对的两个侧壁上,所述第一热电组件和所述第二热电组件用于根据所述控制模块的指令实现制冷或制热功能,以通过热交换调节所述液体管道中循环液体的温度;

所述控制模块与所述水泵、所述第一热电组件以及所述第二热电组件连接,用于控制所述水泵、所述第一热电组件以及所述第二热电组件配合实现所述水箱内液体温度的恒定。

2.根据权利要求1所述的恒温液槽,其特征在于,还包括水冷模块,所述水冷模块包括水循环控制器、第一水冷板和第二水冷板;

所述水循环控制器与所述控制模块连接,所述水循环控制器用于根据所述控制模块的指令调节所述第一水冷板和所述第二水冷板内冷却液的流量;

所述第一水冷板紧贴所述第一热电组件远离所述回字形管道的一侧表面,所述第二水冷板紧贴所述第二热电组件远离所述回字形管道的一侧表面;所述第一水冷板和所述第二水冷板分别用于降低所述第一热电组件和所述第二热电组件的温度。

3.根据权利要求1所述的恒温液槽,其特征在于,所述换热模块还包括第一均热板和第二均热板,所述第一均热板设置于所述回字形管道和所述第一热电组件之间,所述第二均热板设置于所述回字形管道和所述第二热电组件之间,所述第一均热板和所述第二均热板分别用于实现所述回字形管道与所述第一热电组件和所述第二热电组件之间热量或冷量的均匀传导。

4.根据权利要求1所述的恒温液槽,其特征在于,所述回字形管道内设置有至少一个翅片。

5.根据权利要求1所述的恒温液槽,其特征在于,所述回字形管道内设置有至少一个扰流板。

6.根据权利要求1所述的恒温液槽,其特征在于,所述水箱的入水口与所述回字形管道的出水口之间设置有挡流板,所述挡流板上设置有多个通孔。

7.根据权利要求6所述的恒温液槽,其特征在于,所述水箱的顶部指向底部的方向为第一方向,沿所述第一方向,所述挡流板上所述通孔的密度逐渐减小。

8.根据权利要求1所述的恒温液槽,其特征在于,所述水箱的顶部指向底部的方向为第一方向,沿所述第一方向,所述回字形管道的宽度逐渐减小。

9.根据权利要求8所述的恒温液槽,其特征在于,所述回字形管道靠近所述水箱的侧壁沿所述第一方向延伸,所述回字形管道远离所述水箱的侧壁与所述第一方向的垂直方向的夹角a的取值范围为:60°≤a≤90°。

10.根据权利要求1所述的恒温液槽,其特征在于,所述回字形管道内还设置有第一温度传感器和第二温度传感器,所述回字形管道包括首尾依次连接的第一子管道、第二子管道、第三子管道和第四子管道,所述第一子管道与所述第一热电组件相对设置,所述第三子管道与所述第二热电组件相对设置,所述第一温度传感器设置于所述第二子管道内,所述第二温度传感器设置于第四子管道内。

11.根据权利要求10所述的恒温液槽,其特征在于,所述控制模块包括主控制器和辅助控制器,所述主控制器和所述辅助控制器串联;所述辅助控制器用于根据所述第一温度传感器的实测温度,控制所述第一热电组件制冷或制热,以维持所述水箱内液体温度的恒定;所述主控制器用于根据所述第二温度传感器的实测温度,控制所述第二热电组件制冷或制热,以维持所述水箱内液体温度的恒定。

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