[发明专利]一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法有效
| 申请号： | 201910498587.6 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN110182756B | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 徐杰;张广玉;祁红岩;李豫龙 | 申请（专利权）人： | 百色学院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;H02N11/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 高媛 |
| 地址： | 533000 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 环节 可见光 光驱 马达 制备 方法 | ||
1.一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：
步骤一：在水平设置的硅片（2）上滴加多个 PS球（1）；
步骤二：在每个PS球（1）上均通过掠射角沉积的方法沉积一段Si体（3）；
步骤三：在每段Si体（3）远离PS球（1）的一端面均蒸镀Au层（4）；
步骤四：撤去硅片（2），即可获得光驱微纳马达（5）。
2.根据权利要求1所述的一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法，其特征在于：所述多个 PS球（1）呈矩形阵列设置。
3.根据权利要求1或2所述的一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法，其特征在于：每个所述 PS球（1）的直径均为500nm-40μm。
4.根据权利要求1所述的一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法，其特征在于：所述掠射角的倾角为5°。
5.根据权利要求1所述的一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法，其特征在于：每段所述Si体（3）的长度均为2-5μm。
6.根据权利要求1所述的一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法，其特征在于：每个所述Au层（4）的厚度均为15nm-2μm。
7.根据权利要求1所述的一种多环节可见光的光驱微纳马达的制备方法，其特征在于：当所述光驱微纳马达（5）悬浮在去离子水或有机溶剂中时，若没有光照，则光驱微纳马达（5）只呈现布朗运动；若存在可见光光照，则光驱微纳马达（5）向PS球（1）运动。
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