[发明专利]一种变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台

权利要求书

1.一种变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台，其特征在于，包括由下至上依次设置的基座(1)、中间连接层(9)和滑动平台(12)，所述基座(1)和中间连接层(9)之间设置有Y向交叉滚子导轨(8)，所述中间连接层(9)和滑动平台(12)之间设置有X向交叉滚子导轨(11)；

所述基座(1)设置为矩形结构，所述基座(1)上表面对称设置有两个相互平行的Y向导轨支撑凸台(2)，每个Y向导轨支撑凸台(2)外侧均设置有一组Y向交叉滚子导轨(8)；所述基座(1)中间设置有位移输入机构，采用双平行板式柔性铰链(3)及并联对称结构实现运动导向及两自由度解耦，所述位移输入机构中央为方形平台(4)，所述方形平台(4)中心加工有圆形槽和螺栓孔，所述圆形槽内设置有Z轴压电陶瓷驱动器(7)，所述Z轴压电陶瓷驱动器(7)顶端设置有球头帽(17)；所述位移输入机构外侧设置有两个相互垂直的空槽，两个空槽内分别设置有X轴压电陶瓷驱动器(5)和Y轴压电陶瓷驱动器(6)；

所述中间连接层(9)设置为矩形结构，中心设置有矩形通孔，所述中间连接层(9)上表面对称设置有一对相互平行的X向导轨支撑凸台(10)，且矩形通孔位于两个X向导轨支撑凸台(10)之间，每个X向导轨支撑凸台(10)外侧均设置有一组X向交叉滚子导轨(11)；

所述位移输入机构的方形平台(4)顶部固定有摩擦块(13)，所述摩擦块(13)穿过中间连接层(9)的矩形通孔设置；所述摩擦块(13)采用镂空结构，中心位置加工有方形位移台，并在上半部设置有双层平行板式铰链结构，所述方形位移台顶端设置有摩擦垫片(14)。

2.根据权利要求1所述的变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台，其特征在于，所述X轴压电陶瓷驱动器(5)、Y轴压电陶瓷驱动器(6)和Z轴压电陶瓷驱动器(7)均通过预紧螺栓(16)施加预紧力，通过紧固螺栓(15)固定。

3.根据权利要求1所述的变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台，其特征在于，所述中间连接层(9)与Y向交叉滚子导轨(8)外侧连接，并通过紧固螺栓(15)固定，在中间连接层(9)外侧加工有螺栓孔，安装预紧螺栓(16)。

4.根据权利要求1所述的变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台，其特征在于，所述滑动平台(12)与X向交叉滚子导轨(11)外侧连接，并通过紧固螺栓(15)固定，在滑动平台(12)外侧加工有螺栓孔，安装预紧螺栓(16)。

5.根据权利要求1所述的变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台，其特征在于，所述Z轴压电陶瓷驱动器(7)通过球头帽(17)与摩擦块(13)接触。

6.根据权利要求1所述的变摩擦力混联式两自由度粘滑驱动精密定位平台，其特征在于，所述摩擦垫片(14)通过调整Z向位置后与滑动平台(12)底面接触。