[发明专利]感光性元件、阻挡层形成用树脂组合物、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法有效
申请号: | 201910501662.X | 申请日: | 2016-07-20 |
公开(公告)号: | CN110161802B | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 粂壮和;小野博史;松村辽 | 申请(专利权)人: | 昭和电工材料株式会社 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;G03F7/004;H05K3/06;H05K3/18 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;金鲜英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 元件 阻挡 形成 树脂 组合 抗蚀剂 图案 方法 以及 印刷 线板 制造 | ||
1.一种阻挡层形成用树脂组合物,其用于形成依次具备支撑膜、阻挡层和感光层的感光性元件中的阻挡层,
所述阻挡层形成用树脂组合物含有水溶性树脂、碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类和水,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类含有选自由下述化学式(1)~(3)所表示的化合物和下述通式(4)所表示的化合物组成的组中的至少一种,
[化5]
[化6]
[化7]
[化8]
通式(4)中,R11表示烷基,R12表示亚烷基,R11的基团和R12的基团的碳数之和大于或等于3且小于或等于10。
2.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11的基团和R12的基团的碳数之和小于或等于8。
3.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11的基团和R12的基团的碳数之和小于或等于7。
4.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11的基团和R12的基团的碳数之和小于或等于6。
5.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11的基团和R12的基团的碳数之和小于或等于5。
6.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11所表示的烷基为碳数1~4的烷基。
7.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R12所表示的亚烷基为碳数1~3的亚烷基。
8.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)所表示的化合物为2-丁氧基-乙醇或1-甲氧基-2-丙醇。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类对于20℃的水的溶解度为大于或等于300mL/水100mL。
10.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类对于20℃的水的溶解度为大于或等于500mL/水100mL。
11.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类对于20℃的水的溶解度为大于或等于1000mL/水100mL。
12.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类的含量相对于水500质量份为100~500质量份。
13.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类的含量相对于水500质量份为110~480质量份。
14.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类的含量相对于水500质量份为120~460质量份。
15.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类的含量相对于水500质量份为125~440质量份。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昭和电工材料株式会社,未经昭和电工材料株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910501662.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。