[发明专利]感光性元件、阻挡层形成用树脂组合物、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201910501662.X 申请日: 2016-07-20
公开(公告)号: CN110161802B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 粂壮和;小野博史;松村辽 申请(专利权)人: 昭和电工材料株式会社
主分类号: G03F7/11 分类号: G03F7/11;G03F7/004;H05K3/06;H05K3/18
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 钟晶;金鲜英
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 感光性 元件 阻挡 形成 树脂 组合 抗蚀剂 图案 方法 以及 印刷 线板 制造
【权利要求书】:

1.一种阻挡层形成用树脂组合物,其用于形成依次具备支撑膜、阻挡层和感光层的感光性元件中的阻挡层,

所述阻挡层形成用树脂组合物含有水溶性树脂、碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类和水,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类含有选自由下述化学式(1)~(3)所表示的化合物和下述通式(4)所表示的化合物组成的组中的至少一种,

[化5]

[化6]

[化7]

[化8]

通式(4)中,R11表示烷基,R12表示亚烷基,R11的基团和R12的基团的碳数之和大于或等于3且小于或等于10。

2.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11的基团和R12的基团的碳数之和小于或等于8。

3.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11的基团和R12的基团的碳数之和小于或等于7。

4.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11的基团和R12的基团的碳数之和小于或等于6。

5.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11的基团和R12的基团的碳数之和小于或等于5。

6.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R11所表示的烷基为碳数1~4的烷基。

7.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)中,R12所表示的亚烷基为碳数1~3的亚烷基。

8.根据权利要求1所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述通式(4)所表示的化合物为2-丁氧基-乙醇或1-甲氧基-2-丙醇。

9.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类对于20℃的水的溶解度为大于或等于300mL/水100mL。

10.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类对于20℃的水的溶解度为大于或等于500mL/水100mL。

11.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类对于20℃的水的溶解度为大于或等于1000mL/水100mL。

12.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类的含量相对于水500质量份为100~500质量份。

13.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类的含量相对于水500质量份为110~480质量份。

14.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类的含量相对于水500质量份为120~460质量份。

15.根据权利要求1~8中任一项所述的阻挡层形成用树脂组合物,所述碳数大于或等于3且小于或等于10的醇类的含量相对于水500质量份为125~440质量份。

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