[发明专利]基于质谱测量激光烧蚀等离子体物种时间演化测量方法在审
| 申请号： | 201910504578.3 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110186995A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 丁洪斌;郝媛杰;吴鼎;冯春雷;李聪;海然 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所有限公司 21208 | 代理人： | 裴毓英 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 激光烧蚀 质谱测量 质谱数据 靶材 控制程序 测量 飞行时间质谱仪 漂移 物种 高压脉冲电场 虚拟实验平台 质谱分析技术 电荷态离子 离子探测器 脉冲发生器 时序 测量要求 范围选择 激光光路 离子物种 数字延时 激光器 脉冲 场腔 挡片 门宽 腔室 无场 离子 采集 开门 室内 传输 计算机 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于质谱测量激光烧蚀等离子体物种时间演化测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1，采用包含脉冲激光器、飞行时间质谱仪、高压脉冲电源、时序脉冲数字延时发生器、离子探测器、空间范围选择挡片、示波器的等离子体检测装置；将靶材放置于飞行时间质谱仪的真空引出场腔室内，调整激光光路，选取符合测量要求的空间范围选择挡片；
步骤2，根据测量目的，通过数字延时脉冲发生器和LabVIEW虚拟实验平台控制程序设置激光器、高压脉冲电场，离子探测器之间开门时序和门宽，并设置示波器对波形数据的实时显示及存储；
步骤3，开始测量，在每一个脉冲的激光烧蚀靶材产生等离子体后，使满足特定条件的离子进入到真空无场漂移腔室后，根据离子之间不同荷质比到达离子探测器的时间不同，得到质谱数据；
步骤4，质谱探测器接收质谱数据，并由示波器同步采集后，将采集得到的质谱数据传输到计算机，由LabVIEW虚拟实验平台进行处理和显示，得到相对应的离子物种信息。
2.根据权利要求1所述的基于质谱测量激光烧蚀等离子体物种时间演化测量方法，其特征在于，所述时序脉冲数字延时发生器的型号为DG645。
3.根据权利要求1所述的基于质谱测量激光烧蚀等离子体物种时间演化测量方法，其特征在于，通过LabVIEW虚拟实验平台远程控制时序脉冲数字延时发生器各通道的延迟时间和TTL触发电平。
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