[发明专利]一种铜表面硫醇类复合缓蚀膜的光控组装液及组装方法有效
| 申请号： | 201910505747.5 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110195230B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 张大全;张凯;高立新;王若冰 | 申请（专利权）人： | 上海电力学院 |
| 主分类号： | C23F11/10 | 分类号： | C23F11/10 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 王婧 |
| 地址： | 200090 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 硫醇 复合 缓蚀膜 光控 组装 方法 | ||
1.一种铜表面硫醇类复合缓蚀膜的光控组装方法，其特征在于，包括：
步骤1：将铜片进行打磨抛光处理；
步骤2：分别用乙醇和去离子水冲洗铜片表面2-3遍，用气流将铜片表面吹干或烘干；
步骤3：将步骤2得到的铜片放入光控组装液中，所述的光控组装液包含二硫苏糖醇、叔丁基乙炔和溶剂，用紫外光照射铜片表面，经过组装后，在铜表面组装出一层硫醇类复合缓蚀膜；所述的组装液中二硫苏糖醇的浓度为0.1mM-50mM，叔丁基乙炔的浓度为0.1mM-50mM。
2.如权利要求1所述的铜表面硫醇类复合缓蚀膜的光控组装方法，其特征在于，所述的组装时间为1～6h，温度为1～40℃，照射光源为365nm紫外光，紫外光功率为10W，组装液体积与组装铜面积之比为20～100mL/cm2。
3.如权利要求1所述的铜表面硫醇类复合缓蚀膜的光控组装方法，其特征在于，所述的铜片为纯铜、白铜、黄铜或青铜。
4.如权利要求1所述的铜表面硫醇类复合缓蚀膜的光控组装方法，其特征在于，所述的组装液中二硫苏糖醇的浓度为0.4mM，叔丁基乙炔的浓度为0.4mM。
5.如权利要求1所述的铜表面硫醇类复合缓蚀膜的光控组装方法，其特征在于，所述的溶剂为无水乙醇。
6.一种铜表面硫醇类复合缓蚀膜的光控组装液，其特征在于，包含二硫苏糖醇、叔丁基乙炔和溶剂；所述的组装液中二硫苏糖醇的浓度为0.1mM-50mM，叔丁基乙炔的浓度为0.1mM-50mM。
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