[发明专利]一种共聚焦拉曼-光电流测试系统在审
| 申请号： | 201910506433.7 | 申请日： | 2019-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN110132939A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 文煜;王勤生;许晨旭;杨永强;赵卫芳;程小豹 | 申请（专利权）人： | 江苏省特种设备安全监督检验研究院 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N23/227 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214174 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光电流 测试系统 测试样品 光电器件 共聚焦 测试 采集 拉曼光谱信号 光电流信号 锁相放大器 光谱仪 测试领域 待测样品 光电测试 器件性能 物理特性 显微物镜 主控设备 激光器 电学 分光器 探针 配合 分析 | ||
1.一种共聚焦拉曼-光电流测试系统，包括待测试样品，其特征在于，所述共聚焦拉曼-光电流测试系统包括主控设备、测试台、激光器、分光器、显微物镜、光谱仪、电学探针以及锁相放大器；所述待测试样品放置在所述测试台上，所述显微物镜正对所述测试台上的所述待测试样品，所述激光器发出的激光信号经所述分光器分光后被所述显微物镜聚焦于所述待测试样品上，所述待测试样品产生的拉曼信号被所述显微物镜收集并耦合到所述光谱仪，所述光谱仪电性连接所述主控设备；所述测试台上接有所述电学探针，所述电学探针与所述待测试样品的电极相接触，所述电学探针连接所述锁相放大器，所述锁相放大器连接至所述主控设备，所述主控设备分别或同时对所述待测试样品进行拉曼测试和光电流测试。
2.根据权利要求1所述的共聚焦拉曼-光电流测试系统，其特征在于，所述电学探针通过源表连接所述锁相放大器，所述源表用于通过所述电学探针对所述待测试样品施加零偏压并测量自驱动样品的光电响应，或者，所述源表用于通过所述电学探针对所述待测试样品施加非零偏压并测量非自驱动样品的光电响应。
3.根据权利要求1所述的共聚焦拉曼-光电流测试系统，其特征在于，所述测试台为电动测试台，所述测试台包括第一位移驱动装置和第二位移驱动装置，所述主控设备连接并驱动所述第一位移驱动装置和第二位移驱动装置，所述第一位移驱动装置和第二位移驱动装置分别用于驱动所述测试台在水平面相垂直的两个方向移动，所述测试台带动所述待测试样品相对所述显微物镜和所述电学探针移动。
4.根据权利要求1所述的共聚焦拉曼-光电流测试系统，其特征在于，所述激光器为多点线激光模组。
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