[发明专利]三级位移放大二自由度柔顺精密定位平台

权利要求书

1.一种三级位移放大二自由度柔顺精密定位平台，其特征在于：包括基座、动平台以及两个结构完全相同的三级放大结构；压电陶瓷通过预紧螺栓固定在所述基座上，压电陶瓷输出端的半球和移动块上的圆弧箱连接，所述移动块的两侧分别通过第一平行叶片柔性板簧与第一固定基座连接；所述三级放大结构包括常规杠杆、L型杠杆和半桥式结构；三级放大结构是轴对称结构，压电陶瓷位于三级放大结构的轴线上，常规杠杆通过第一圆形柔性铰链与基座固定，常规杠杆通过第一直角柔性铰链与所述L型杠杆连接，所述常规杠杆的输出端通过第二直角柔性铰链与半桥式结构连杆的一端连接，所述半桥式结构连杆的另一端通过第三直角柔性铰链与所述半桥式结构的输入端连接；所述L型杠杆的另一端通过第二圆形柔性铰链与第二固定基座连接，L型杠杆的输入端通过第一传力杆与所述移动块连接；所述动平台采用空心设计的“回”字，所述动平台四周分别通过第二传力杆、第三传力杆与第二平行叶片柔性板簧、半桥式结构的输出端连接，且在半桥式结构的输出端两侧增加了第三平行叶片柔性板簧，来保证半桥式结构的输出为直线运动。

2.根据权利要求1所述的三级位移放大二自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述第一传力杆和第二传力杆采用的设计是变宽度的。

3.根据权利要求1所述的三级位移放大二自由度柔顺精密定位平台，其特征在于，所述基座上设有定位孔。