[发明专利]一种碳纤维高温活化设备真空处理装置及方法

权利要求书

1.一种碳纤维高温活化设备真空处理装置，包括机体(27)，其特征在于：所述机体(27)内部的一侧设置有空气隔离腔(19)，所述机体(27)内部靠近所述空气隔离腔(19)的位置处设置有预热腔(17)，所述机体(27)内部靠近所述预热腔(17)的位置处设置有第一高温腔(16)，所述机体(27)内部靠近所述第一高温腔(16)的位置处设置有第二高温腔(15)，所述机体(27)内部靠近所述第二高温腔(15)的位置处设置有第三高温腔(13)，所述机体(27)内部靠近所述第三高温腔(13)的位置处设置有降温腔(12)，所述机体(27)顶部的一侧安装有导热腔(3)。

2.根据权利要求1所述的一种碳纤维高温活化设备真空处理装置，其特征在于：所述导热腔(3)顶部的一侧安装有第一气泵(1)，所述第一气泵(1)的输出端安装有供气管(8)，位于所述第一高温腔(16)、第二高温腔(15)和第三高温腔(13)上方的供气管(8)的底部安装有第一气体流量计(5)，且第一气体流量计(5)的输出端通过管道贯穿相应高温腔内部并安装有第一喷气管(7)，所述第一高温腔(16)、第二高温腔(15)和第三高温腔(13)内部的底端安装有第一集气罩(14)，且第一集气罩(14)与第一集气罩(14)之间通过管道并联，并与第二惰性气体储存腔(24)连通，所述第一气泵(1)的输入端通过管道与第二惰性气体储存腔(24)的上端连通。

3.根据权利要求2所述的一种碳纤维高温活化设备真空处理装置，其特征在于：所述第一高温腔(16)、第二高温腔(15)和第三高温腔(13)内部的上端皆安装有电加热板(4)，所述机体(27)的顶部位于所述第一高温腔(16)、第二高温腔(15)和第三高温腔(13)处皆安装有电加热器(6)，所述电加热器(6)与所述电加热板(4)电性连接。

4.根据权利要求3所述的一种碳纤维高温活化设备真空处理装置，其特征在于：所述机体(27)的顶部位于降温腔(12)的上方安装有制冷腔(26)，所述制冷腔(26)内部的上端安装有半导体制冷器(31)，且所述半导体制冷器(31)位于所述制冷腔(26)内部的一端安装有导热板(32)，所述导热板(32)的底部均匀安装有导热杆(33)，所述制冷腔(26)的内部设置有弓型管(34)，所述机体(27)的一侧安装有第二气泵(11)，所述第二气泵(11)的输出端与所述弓型管(34)连通，所述弓型管(34)的另一端通过贯穿所述制冷腔(26)外部的管道安装有第二气体流量计(10)，所述第二气体流量计(10)的输出端通过管道安装有第二喷气管(9)，且所述第二喷气管(9)位于降温腔(12)的内部，所述第二气体流量计(10)的输出端的管道贯穿至所述降温腔(12)的内部。

5.根据权利要求4所述的一种碳纤维高温活化设备真空处理装置，其特征在于：所述机体(27)一侧靠近所述降温腔(12)处安装有第三惰性气体存储腔(25)，所述第二气泵(11)的输入端通过管道与所述第三惰性气体存储腔(25)的上端连通，所述降温腔(12)内部的底端设置有所述第一集气罩(14)，且所述第一集气罩(14)通过管道与所述第三惰性气体存储腔(25)连通。

6.根据权利要求5所述的一种碳纤维高温活化设备真空处理装置，其特征在于：所述机体(27)一侧的端部安装有真空泵(39)，所述真空泵(39)的输入端安装有抽气管(40)，所述抽气管(40)靠近所述机体(27)的一侧通过管道分别与第一高温腔(16)、第二高温腔(15)、第三高温腔(13)、降温腔(12)和预热腔(17)连通。

7.根据权利要求6所述的一种碳纤维高温活化设备真空处理装置，其特征在于：所述导热腔(3)的内部设置有多组导热杆(2)，且所述导热杆(2)为U型结构，所述导热杆(2)的一端贯穿至所述第一高温腔(16)的内部，且所述导热杆(2)的另一端贯穿至预热腔(17)的内部。