[发明专利]内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构与方法

说明书

本发明提供一种内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构与方法，包括内部可供镀膜管通过的连续镀膜室，所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，所述固定套管的两端设有真空密封阀，并且设有贯通内外的抽气口与布气管；所述靶材具有数个并且沿镀膜室的轴向拼接，相邻的靶材用绝缘条相互隔绝，数个靶材均连接有外部电源；所述磁铁呈片状，在镀膜室的轴向上依次层叠，与各个靶材分别对应布置。本发明可根据需镀膜层的不同要求，设计不同长度的靶材及其组合，然后根据靶材的组成情况，装配于相应长度的固定套管内，而磁铁也可根据靶材长度层叠至相应长度位置，提高内腔式镀膜设备的适应性。

技术领域

本发明涉及一种磁控溅射镀膜设备，特别是涉及一种槽式镜面集热管磁控溅射镀膜设备，属于太阳能光热生产设备领域。

背景技术

目前，聚光型太阳能集热器按照接收器的形状不同，主要分为槽式、塔式、碟式以及复合抛物面式几种类型，其中槽式聚光系统是目前国内外开发利用最多的一种集热器类型，主要是因为其具有安装方便，结构简单，安全且可靠性高等优点。太阳能槽式集热器在太阳能利用系统中占据主导地位，它为系统提供热源，其效率和投资成本会影响到整个集热系统的效率和经济性。

太阳能集热器作为太阳能热利用的主要元件，具有十分广泛的应用价值，但相比之下，太阳能槽式集热器比传统的太阳能集热器具有更高的热效率，尤其在热发电领域具有相当成熟的应用技术。

槽式集热器是一种利用的是光热转化方式，通过聚焦、反射和吸收等过程实现光能到热能的转化，使换热介质达到一定温度，以满足不同负载的需求的集热装置。槽式集热器属于中高温集热器的范畴，可以使换热工质得到比较高的温度，可被用到热发电、海水淡化处理、供暖工程、吸收式制冷等生活和生产领域。

由于太阳能广阔的应用前景，太阳能是目前槽式集热器的主要能量来源。太阳能槽式集热器在太阳能利用系统中占据主导地位，它为系统提供热源，其效率和投资成本会影响到整个集热系统的效率和经济性。槽式太阳能集热装置采用真空玻璃管结构，即内管采用镀有高吸收率选择性吸收涂层的金属管，管内走加热介质，在外面为玻璃管，玻璃管与金属管间抽真空以抑制对流和传导热损失。

其中槽式抛物面集热管是该系统的核心部件，而现有国内外以磁控溅射沉积太阳能选择性吸收涂层为主，槽式抛物面集热管的长度被镀膜机所限制，为了操作方便，2000mm左右的钢管镀膜方式选择立式镀膜，考虑到更换磁控溅射靶材、装卸钢管基材的便捷性，4000mm左右及以上的钢管镀膜方式选择卧式。

现有的连续镀膜生产线大都采用复杂的溅射设备环设于镀膜管的外围，利用星型转动的方式进行镀膜，这种生产线不仅繁琐笨重，而且由于靶材至镀膜表面距离远、磁场不均匀，还存在镀膜均匀度低下、沉积速率低下的问题。

也有少数镀膜生产线采用了内腔式的溅射设备，例如CN201510242400.8以及CN201711066320.7等专利，但这些设备只适合对特定型号的镀膜管进行特定成分的磁控镀膜，当目标镀膜的成分发生变化时，无法迅速切换，适应较差。

发明内容

本发明提供一种内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构与方法，是为了解决现有装置存在的上述技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种内腔式磁控溅射镀膜室的装配式结构，其特征在于：包括内部可供镀膜管通过的连续镀膜室，所述连续镀膜室由外至内分别设有固定套管、环形的磁铁与环形的靶材，其中：

所述固定套管的两端设有真空密封阀，并且设有贯通内外的抽气口与布气管；

所述靶材具有数个并且沿镀膜室的轴向拼接，相邻的靶材用绝缘条相互隔绝，数个靶材均连接有外部电源；

所述磁铁呈片状，在镀膜室的轴向上依次层叠，与各个靶材分别对应布置。