[发明专利]一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法在审

专利信息
申请号: 201910508094.6 申请日: 2019-06-12
公开(公告)号: CN110323332A 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: 赵晓宁;王中强;丁文涛;林亚;徐海阳;刘益春 申请(专利权)人: 东北师范大学
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 大连理工大学专利中心 21200 代理人: 梅洪玉
地址: 130024 吉林*** 国省代码: 吉林;22
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 非晶碳 忆阻器 耐受性 随机性 微电子器件 电场 导电通道 降低器件 器件集成 设备操作 提升器件 微小电流 性能优化 应用技术 增强薄膜 变参数 团簇 诱导 壁垒 兼容 团聚
【权利要求书】:

1.一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,步骤如下:

A、以非晶碳为阻变层制备非晶碳忆阻器;

B、将制备得到的非晶碳忆阻器连接到电路中;

C、对非晶碳忆阻器施加一个微小电流,使微小电流流过非晶碳忆阻器;

D、对非晶碳忆阻器施加正向偏压,完成非晶碳忆阻器的电元初始化过程;

E、使用源表施加反向偏压,完成非晶碳忆阻器关闭过程;

F、经D、E步骤后,使用源表反复施加正向偏压、反向偏压,实现非晶碳忆阻器的开启与关闭过程。

2.根据权利要求1所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述微小电流数值范围为1μA-100μA,施加时间为50s-1000s。

3.根据权利要求1或2所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述正向偏压的方向规定由顶电极至底电极方向。

4.根据权利要求1或2所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述非晶碳忆阻器从下往上依次为底电极、非晶碳阻变层和顶电极。

5.根据权利要求3所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述非晶碳忆阻器从下往上依次为底电极、非晶碳阻变层和顶电极。

6.根据权利要求1、2或5所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为活性金属;所述阻变介质层的材质为非晶碳材料;所述底电极的材质为惰性金属。

7.根据权利要求3所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为活性金属;所述阻变介质层的材质为非晶碳材料;所述底电极的材质为惰性金属。

8.根据权利要求4所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为活性金属;所述阻变介质层的材质为非晶碳材料;所述底电极的材质为惰性金属。

9.根据权利要求1、2、5、7或8所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为Cu、Ag;所述底电极的材质为Pt、Au。

10.根据权利要求6所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为Cu、Ag;所述底电极的材质为Pt、Au。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东北师范大学,未经东北师范大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910508094.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top