[发明专利]一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法在审
申请号: | 201910508094.6 | 申请日: | 2019-06-12 |
公开(公告)号: | CN110323332A | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 赵晓宁;王中强;丁文涛;林亚;徐海阳;刘益春 | 申请(专利权)人: | 东北师范大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 梅洪玉 |
地址: | 130024 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 非晶碳 忆阻器 耐受性 随机性 微电子器件 电场 导电通道 降低器件 器件集成 设备操作 提升器件 微小电流 性能优化 应用技术 增强薄膜 变参数 团簇 诱导 壁垒 兼容 团聚 | ||
1.一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,步骤如下:
A、以非晶碳为阻变层制备非晶碳忆阻器;
B、将制备得到的非晶碳忆阻器连接到电路中;
C、对非晶碳忆阻器施加一个微小电流,使微小电流流过非晶碳忆阻器;
D、对非晶碳忆阻器施加正向偏压,完成非晶碳忆阻器的电元初始化过程;
E、使用源表施加反向偏压,完成非晶碳忆阻器关闭过程;
F、经D、E步骤后,使用源表反复施加正向偏压、反向偏压,实现非晶碳忆阻器的开启与关闭过程。
2.根据权利要求1所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述微小电流数值范围为1μA-100μA,施加时间为50s-1000s。
3.根据权利要求1或2所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述正向偏压的方向规定由顶电极至底电极方向。
4.根据权利要求1或2所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述非晶碳忆阻器从下往上依次为底电极、非晶碳阻变层和顶电极。
5.根据权利要求3所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述非晶碳忆阻器从下往上依次为底电极、非晶碳阻变层和顶电极。
6.根据权利要求1、2或5所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为活性金属;所述阻变介质层的材质为非晶碳材料;所述底电极的材质为惰性金属。
7.根据权利要求3所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为活性金属;所述阻变介质层的材质为非晶碳材料;所述底电极的材质为惰性金属。
8.根据权利要求4所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为活性金属;所述阻变介质层的材质为非晶碳材料;所述底电极的材质为惰性金属。
9.根据权利要求1、2、5、7或8所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为Cu、Ag;所述底电极的材质为Pt、Au。
10.根据权利要求6所述的一种电流预作用提升非晶碳忆阻器阻变可靠性的方法,其特征在于,所述顶电极的材质为Cu、Ag;所述底电极的材质为Pt、Au。
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