[发明专利]一种钝化剂及其钝化方法和制备半导体薄膜的方法

权利要求书

1.一种钝化剂，其特征在于，所述钝化剂沉积在半导体薄膜与其接触的界面材料之间，和/或加入到制备半导体薄膜的原材料中，在该钝化剂材料的分子中同时具备富电子基团去提供电子以及电子受体位点，其中，所述具有富电子基团去提供电子的分子常见的为含N、P、O、S中任意一种的化合物分子，所述电子受体位点是具有空轨道的金属阳离子或者贫电子基团。

2.如权利要求1所述的钝化剂，其特征在于，所述钝化剂为咪唑盐类离子液体、吡啶盐类离子液体、季铵盐类离子液体、季鏻盐类离子液体、吡咯烷盐类离子液体、哌啶盐类离子液体、功能化离子液体中的至少一种，或者为二茂铁类有机物中的至少一种，或者为金属酞菁化合物中的至少一种，或者为金属乙酰丙酮化合物中的至少一种，或者为有机金属中的至少一种，或者为卤键化合物中的至少一种，或者为有机硼化物中的至少一种。

3.如权利要求2所述的钝化剂，其特征在于，所述咪唑类离子液体包括1-己基-2,3-二甲基咪唑六氟磷酸盐、1-十六基-2,3-二甲基咪唑六氟磷酸盐、1-己基-2,3-二甲基咪唑四氟硼酸盐、1-己基-2,3-二甲基咪唑溴盐、1-丁基-2,3-二甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-丁基-2,3-二甲基咪唑四氟硼酸盐、1-丁基-2,3-二甲基咪唑氯盐、1-十六基-3-甲基咪唑溴盐、1-十六基-3-甲基咪唑氯盐、1-十四基-3-甲基咪唑溴盐、1-十四基-3-甲基咪唑氯盐、1-十二基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-十二基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-十二基-3-甲基咪唑溴盐、1-十二基-3-甲基咪唑氯盐、1-癸基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-癸基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-癸基-3-甲基咪唑溴盐、1-癸基-3-甲基咪唑氯盐、1-辛基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-辛基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑溴盐、1-辛基-3-甲基咪唑氯盐、1-己基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-己基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-己基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-己基-3-甲基咪唑溴盐、1-己基-3-甲基咪唑氯盐、1-戊基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-戊基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-戊基-3-甲基咪唑溴盐、1-戊基-3-甲基咪唑氯盐、1-丙基-3-甲基咪唑双(三氟甲烷磺酰)亚胺盐、1-丙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑对甲基苯磺酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑硫氰酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑三氟乙酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑二腈胺盐、1-丁基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-丁基-3-甲基咪唑高氯酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑磷酸二氢盐、1-丁基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-丁基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-丁基-3-甲基咪唑碘盐、1-丁基-3-甲基咪唑氯盐、1-丁基-3-甲基咪唑溴盐、1-丙基-3-甲基咪唑碘盐、1-丙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-丙基-3-甲基咪唑溴盐、1-丙基-3-甲基咪唑氯盐、1-乙基-3-甲基咪唑醋酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑对甲基苯磺酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑硫氰酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑三氟乙酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑二腈胺盐、1-乙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-乙基-3-甲基咪唑高氯酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-乙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-乙基-3-甲基咪唑碘盐、1-乙基-3-甲基咪唑溴盐、1-乙基-3-甲基咪唑氯盐、1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐；

所述吡啶盐类离子液体包括N-辛基吡啶溴盐、N-己基吡啶双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-己基吡啶六氟磷酸盐、N-己基吡啶四氟硼酸盐、N-己基吡啶溴盐、N-丁基吡啶双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-丁基吡啶六氟磷酸盐、N-丁基吡啶四氟硼酸盐、N-丁基吡啶溴盐、N-乙基吡啶双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-乙基吡啶六氟磷酸盐、N-乙基吡啶四氟硼酸盐、N-乙基吡啶溴盐；

所述季铵盐类离子液体包括三丁基甲基铵双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、三丁基甲基氯化铵、N-甲氧基乙基-N-甲基二乙基铵四氟硼酸盐；

所述季鏻盐类离子液体三丁基己基膦双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、三丁基己基溴化膦、四丁基膦双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、四丁基溴化膦、三丁基乙基膦双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、三丁基乙基溴化膦；

所述吡咯烷盐类离子液体包括N-丁基-N-甲基吡咯烷双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-丁基-N-甲基吡咯烷溴盐；

所述哌啶盐类离子液体包括N-丁基-N-甲基哌啶双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、N-丁基-N-甲基哌啶溴盐；

所述功能化离子液体包括盐酸胍、碳酸胍、四甲基胍乳酸盐、四甲基胍三氟甲烷磺酸盐、四甲基胍硫酸氢盐、四甲基胍盐酸盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑溴盐、1-羧乙基-3-甲基咪唑氯盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑溴盐、1-羧甲基-3-甲基咪唑氯盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑溴盐、1-乙酸乙酯基-3-甲基咪唑氯盐、1-苄基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-苄基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-苄基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-苄基-3-甲基咪唑溴盐、1-苄基-3-甲基咪唑氯盐、1-乙基乙基醚-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-乙基乙基醚-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-乙基乙基醚-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-乙基乙基醚-3-甲基咪唑溴盐、1-乙基甲基醚-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-乙基甲基醚-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-乙基甲基醚-3-甲基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑双三氟甲烷磺酰亚胺盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑六氟磷酸盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑四氟硼酸盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑双三氟甲烷磺酰亚胺盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑六氟磷酸盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑四氟硼酸盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-乙烯基-3-甲基咪唑碘盐、1-烯丙基-3-丁基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-烯丙基-3-丁基咪唑六氟磷酸盐、1-烯丙基-3-丁基咪唑四氟硼酸盐、1-烯丙基-3-丁基咪唑溴盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑六氟磷酸盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑四氟硼酸盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑溴盐、1-烯丙基-3-乙基咪唑氯盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑溴盐、1-烯丙基-3-甲基咪唑氯盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-腈丙基-3-甲基咪唑氯盐、1,2-二甲基-3-羟乙基咪唑对甲基苯磺酸盐、1,2-二甲基-3-羟乙基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1,2-二甲基-3-羟乙基咪唑六氟磷酸盐、1,2-二甲基-3-羟乙基咪唑四氟硼酸盐、1-羟乙基-2,3-二甲基咪唑氯盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑对甲基苯磺酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑二腈胺盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑高氯酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-羟乙基-3-甲基咪唑氯盐、三甲基羟乙基铵双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、三甲基羟乙基铵六氟磷酸盐、三甲基羟乙基铵四氟硼酸盐、三甲基羟乙基铵氯盐、N-磺酸丁基吡啶对甲苯磺酸盐、N-磺酸丁基吡啶三氟甲磺酸盐、N-磺酸丁基吡啶硫酸氢盐、磺酸丁基吡啶内酯、N-磺酸丙基吡啶对甲苯磺酸盐、N-磺酸丙基吡啶三氟甲磺酸盐、N-丙基磺酸吡啶硫酸氢盐、磺酸丙基吡啶内酯、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑三氟乙酸盐、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑磷酸二氢盐、1-丁基磺酸-3-甲基咪唑氯盐、1-磺酸丁基-3-甲基咪唑内盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑三氟乙酸盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑三氟甲烷磺酸盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑硫酸氢盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑磷酸二氢盐、1-丙基磺酸-3-甲基咪唑氯盐、1-磺酸丙基-3-甲基咪唑内盐、1-胺丙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-胺丙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-胺丙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-胺丙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-胺丙基-3-甲基咪唑溴盐、1-胺乙基-3-甲基咪唑硝酸盐、1-胺乙基-3-甲基咪唑双（三氟甲烷磺酰）亚胺盐、1-胺乙基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-胺乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐、1-胺乙基-3-甲基咪唑溴盐；

所述二茂铁类有机物包括1,1'-二(二环己基膦)-二茂铁、二茂铁基乙酸、N,N-二甲基二茂铁甲胺、乙酰基二茂铁、二茂铁甲酸、6-(二茂铁基)己硫醇、1,1′-双(二氯磷)二茂铁、1,1'-双(二异丙基膦)二茂铁、1,1'-双(二苯基膦)二茂铁、(S)-(-)-N,N-二甲基-1-二茂铁基乙胺、1,1'-双(二-叔丁基膦基)二茂铁、1,1'-二茂铁二甲酸、(S)-(+)-N,N-二甲基-1-(2-联苯膦基）二茂铁乙胺、(R)-(-)-N,N-二甲基-1-(2-联苯膦基）二茂铁乙胺、(R)-N,N-二甲基-1-[(S)-1',2-双(二苯基膦基)二茂铁基]乙胺、1,2,3,4,5-五苯基-1′-(二叔丁基膦)二茂铁、1,1'-双(二-叔丁基膦)二茂铁二氯合钯、(S)-1-(二苯基膦基)-2-[(S)-4-异丙基噁唑啉-2-基]二茂铁、1,1’-二乙酰基二茂铁、(R)-N-二苯基膦-N-甲基-(S)-2-(二苯基膦)二茂铁基乙胺、(S)-N,N-二甲基-1-[(R)-1',2-双(二苯基膦基)二茂铁基]乙胺、1,1′-双(二-环己基膦基)二茂铁二氯化钯、[1,1'-双(二苯基膦基)二茂铁]二氯化钯、[1,1′-双(二苯基膦)二茂铁]二氯化钴(II)、(S)-1-{(RP)-2-[二(2-呋喃基)膦基]二茂铁基}乙基二(3,5-二甲苯基)膦二茂铁甲酸、N-琥珀酰亚胺酯；

所述金属酞菁化合物包括酞菁铜(II)、酞菁铁(II) 、酞菁铅(II)、酞菁氯化铝、酞菁钴(II)、酞菁二锂、二氯酞菁锡(IV)、酞菁锌、全氟酞菁铜；

所述金属乙酰丙酮化合物包括乙酰丙酮锆、乙酰丙酮铁、乙酰丙酮锌、乙酰丙酮铜、乙酰丙酮镍、乙酰丙酮钴、乙酰丙酮铪、乙酰丙酮铝、乙酰丙酮酰双(亚乙基)化铑(I)、二羰基乙酰丙酮铑、乙酰丙酮钒、乙酰丙酮镉、乙酰丙酮钙、乙酰丙酮氧钒、乙酰丙酮钼、二羰基乙酰丙酮铱(I)、双(六氟乙酰丙酮)合铜(II)水合物、乙酰丙酮化锡、双(2,4-戊烷二酮酸)二氯化锡(IV)、六氟乙酰丙酮钯(II)、乙酰丙酮铽(III)、乙酰丙酮铱(Ⅲ)、乙酰丙酮铂(II)、双(2,4-戊二酮)锰、三(2,4-戊二酮酸)铬(III)、二(乙酰丙酮)钯(II)、双(乙酰丙酮基)二异丙基钛酸酯、乙酰丙酮银、乙酰丙酮钇(III)、乙酰丙酮镧、乙酰丙酮镓（III）、乙酰丙酮钡、乙酰丙酮钌、乙酰丙酮镁、乙酰丙酮锰、乙酰丙酮(降冰片二烯)合铑、乙酰丙酮酸二(2-苯基吡啶)铱；

所述有机金属包括二-μ-羟基-双[(N,N,N',N'-四甲基乙二胺)铜(II)]氯化物、溴三(三苯基膦)铜(I)、葡萄糖酸铜、酒石酸铜(II)水合物、柠檬酸铜、焦磷酸铜、乙酸铜、噻吩-2-甲酸亚铜、8-羟基喹啉铜盐、氯[1,3-双(2,6-二异丙苯基)咪唑-2-亚基]铜(I)、乙二胺四乙酸二钠铜、二甲基二硫代氨基甲酸铜(II)、双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮酸)铜、双(6,6,7,7,8,8,8,-七氟-2,2-二甲基-3,5-辛二酮酸)铜、铜(II)-TBTA络合物、1,5-环辛二烯(六氟-2,4-戊二酮)铜(I)、二甲基二硫代氨基甲酸铜、柠檬酸镁、二乙基二硫代氨基甲酸铁(III)、乙二胺四乙酸二钠钙安乃近（Na）、二胺四乙酸二钠锰盐异辛酸亚锡、三苯基氯化锡、二甲基二氯化锡、二甲基氧化锡、三甲基(4-吡啶基)锡、三甲基(2-吡啶基)锡、一氯二乙基铝、双(2-乙基己酸)羟基铝、苷氨酸铝、2-噻吩基溴化锌；

所述卤键化合物包括4-碘硝基苯、1-氟-3-碘-5-硝基苯、2-硝基-3,5-二氟碘苯、4-溴-2-氟苯腈、4-溴-2,3,5,6-四氟苯甲酸、4-溴-2,3-二氟苯腈、4 4'-二溴八氟联苯；

所述有机硼化物包括四丁基硼氢化铵、3-硝基苯硼酸、硼酸三甲酯、3-噻吩硼酸、3-呋喃硼酸、4-甲酰苯硼酸、3-氨基苯硼酸、4-巯基苯硼酸、4-(溴甲基)苯硼酸、4-甲氧基苯基硼酸、3-甲氧基苯基硼酸、5-醛基-2-甲氧基苯硼酸、5-甲醛基呋喃-2-硼酸、2-氟-5-溴吡啶-3-硼酸、2-氟吡啶-3-硼酸、2,5-二氯吡啶-4-硼酸、苯并噻吩-2-硼酸、3-喹啉硼酸、噻吩-2-硼酸频哪醇酯、4-氨基苯硼酸频哪醇酯、3-乙氧羰基苯硼酸频哪醇酯、4-甲氧羰基苯硼酸频哪醇酯、3-甲氧基苯基硼酸、4-苯醚基苯硼酸、3,5-二甲基异噁唑-4-硼酸频哪醇酯、6-异丙氧基吡啶-3-硼酸频哪醇酯、3,6-二氢-2H-吡喃-4-硼酸频哪醇酯、嘧啶-5-硼酸、5-醛基-2-噻吩硼酸、4-氟-3-醛基苯硼酸、2-氰基苯基硼酸、1,3-丙二酯、3,5-二羧基苯基硼酸、2-(甲氧基羰基)苯硼酸、苯硼酸、硼酸三乙酯、3-氟-4-醛基苯硼酸、4-羧基苯硼酸、四硼酸钠、4-氟苯硼酸、3-碘苯硼酸、2-氟苯硼酸、4-异丙氧基苯硼酸、4-乙烯基苯硼酸、4'-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二杂氧戊硼烷-2-基)乙酰苯胺、3-溴苯硼酸、N-甲基二氨基乙醇酯、2,6-二氯吡啶-3-硼酸、硼酸三(4-氯苯)酯、三(2-氰乙基)硼酸酯、硼酸三乙醇胺酯、4,4,5,5-四甲基-2-[3-(三氟甲氧基)苯基]-1,3,2-二氧杂环戊硼烷、4-[3-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧硼戊环-2-基)苯基]吗啉、4,4,5,5-四甲基-2-(2-硝基苯基)-1,3,2-二氧环戊硼烷、5-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧杂环戊硼烷-2-基)羟吲哚、1-(叔丁氧羰基)-4-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧环戊硼烷-2-基)吡唑、4-甲基-2-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧环戊硼烷-2-基)噻吩、2-硝基-4-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧杂戊硼烷-2-基)苯胺、2-(4-甲氧基苄基)-4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧环戊硼烷、3-甲基-2-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧杂硼烷-2-基)噻吩、N,N-二乙基-4-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧杂环戊硼烷-2-基)苯胺、2-溴-3-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧硼戊环-2-基)吡啶、2-氰基苯基硼酸1,3-丙二酯、2-氯-5-(4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧杂环戊硼烷-2-基)嘧啶。