[发明专利]光蚀刻设备的控制方法及光蚀刻设备

权利要求书

1.一种光蚀刻设备的控制方法，其特征在于，所述光蚀刻设备的控制方法包括以下步骤：

获取待加工物料的物料信息及光蚀刻设备上的加工光罩的第一光罩编号，所述物料信息包括所述待加工物料对应的加工光罩的第二光罩编号以及加工参数；

在所述第一光罩编号与所述第二光罩编号不相同时，将所述光蚀刻设备上的加工光罩更换为所述待加工物料对应的加工光罩；

控制所述光蚀刻设备根据所述加工参数加工所述待加工物料。

2.如权利要求1所述的光蚀刻设备的控制方法，其特征在于，所述获取待加工物料的物料信息及光蚀刻设备上的加工光罩的第一光罩编号的步骤之前，还包括：

在向所述光蚀刻设备的物料暂存仓位添加所述待加工物料时，获取待加工物料对应的物料信息编号，其中，所述物料信息与所述物料信息编号一一对应；

在所述光蚀刻设备对应的物料信息编号中未包含所述待加工物料对应的物料信息编号时，输出物料添加错误的提示信息；

在所述光蚀刻设备对应的物料信息编号中包含所述待加工物料对应的物料信息编号时，将所述待加工物料添加至所述光蚀刻设备的物料暂存仓位。

3.如权利要求1所述的光蚀刻设备的控制方法，其特征在于，所述将所述光蚀刻设备上的加工光罩更换为所述待加工物料对应的加工光罩的步骤包括：

控制光罩更换装置拆卸所述光蚀刻设备上的加工光罩，并根据所述第二光罩编号在光罩暂存区查找所述待加工物料对应的加工光罩；

控制光罩更换装置安装所述待加工物料对应的加工光罩。

4.如权利要求1所述的光蚀刻设备的控制方法，其特征在于，所述控制所述光蚀刻设备根据所述加工参数加工所述待加工物料的步骤之前，还包括：

控制传输装置将所述待加工物料传送至加工位置。

5.如权利要求1所述的光蚀刻设备的控制方法，其特征在于，所述获取待加工物料的物料信息及光蚀刻设备上的加工光罩的第一光罩编号的步骤包括：

控制扫描装置扫描所述待加工物料及所述光蚀刻设备上的加工光罩的识别标签；

根据扫描结果获取所述待加工物料的物料信息及所述光蚀刻设备上的加工光罩的第一光罩编号。

6.如权利要求1所述的光蚀刻设备的控制方法，其特征在于，所述获取待加工物料的物料信息及光蚀刻设备上的加工光罩的第一光罩编号，所述物料信息包括所述待加工物料对应的加工光罩的第二光罩编号以及加工参数的步骤之后，还包括：

在所述第一光罩编号与所述第二光罩编号相同时，执行所述控制所述光蚀刻设备根据所述加工参数加工所述待加工物料的步骤。

7.如权利要求1所述的光蚀刻设备的控制方法，其特征在于，所述加工参数包括加工温度及加工压强。

8.一种光蚀刻设备，其特征在于，所述光蚀刻设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的控制程序，所述控制程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的光蚀刻设备的控制方法的步骤。

9.如权利要求8所述的光蚀刻设备，其特征在于，所述光蚀刻设备为黄光机台，所述黄光机台包括光罩暂存区，用于存放光罩；所述黄光机台还包括待加工玻璃薄片暂存区，用于存放待加工的玻璃薄片。

10.一种光蚀刻设备的控制方法，其特征在于，所述光蚀刻设备的控制方法包括以下步骤：

在向光蚀刻设备的物料暂存仓位添加待加工物料时，获取所述待加工物料对应的物料信息编号，其中，所述物料信息与所述物料信息编号一一对应；

在所述光蚀刻设备对应的物料信息编号中包含所述待加工物料对应的物料信息编号时，将所述待加工物料添加至所述光蚀刻设备的物料暂存仓位；

获取待加工物料的物料信息及光蚀刻设备上的加工光罩的第一光罩编号，所述物料信息包括所述待加工物料对应的加工光罩的第二光罩编号以及加工参数；

在所述第一光罩编号与所述第二光罩编号不相同时，将所述光蚀刻设备上的加工光罩更换为所述待加工物料对应的加工光罩；

控制传输装置将所述仓位中的待加工物料传输至加工位置；

控制所述光蚀刻设备根据所述加工参数加工所述加工位置上的所述待加工物料。