[发明专利]离子风散热装置及其方法

说明书

公开了离子风散热装置及其方法，装置包括基底和离子风发生模块，基底包括上表面和用于贴合待散热对象的下表面；离子风发生模块包括至少一个离子风发生单元，所述离子风发生单元可叠加地铺设于所述上表面，所述离子风发生单元包括底表面平铺于所述上表面的微结构高压电极和微结构接地电极，所述微结构高压电极经由高压电源供电，所述微结构接地电极接地，其中，所述微结构接地电极与所述微结构高压电极相对设置以在其之间形成离子风道，微结构接地电极相对于微结构高压电极位于所述离子风道的下游侧的位置，微结构高压电极和微结构接地电极的底表面的尺寸均分别远大于其他表面的尺寸。

技术领域

本发明涉及电子设备散热技术领域，特别是一种离子风散热装置及其方法。

背景技术

随着技术的发展，电子设备的工作能力不断提高，使得产热也随之增加，但设备规模的小型化，使得电子设备功率密度大幅提高，冷却区域却被严重缩小，而高温对电子器件的性能与使用寿命都有着重要影响，因此，电子冷却技术已成为制约电子设备发展的重要因素。

传统的散热方式主要是风扇与翅片热沉相结合的散热器，通过电机旋转带动风扇从而驱动空气与翅片发生热量交换，以达到散热的效果。然而，这类机械式散热方式存在以下几方面的不足：一、易产生噪声，包括风扇吹动空气的气动噪声、电机的电磁噪声以及结构件的振动噪声等，这些噪声都会对使用者造成一定的影响；二、存在旋转部件，运行中存在磨损，会影响散热器的可靠性；三、散热效果有所限制，若要提高散热效果，通常采用提高风扇转速或增大翅片表面积的方式，但是增加风扇转速会增加产热以及进一步影响其可靠性，增大翅片表面积则会增加散热器的体积以及制造成本；四、存在旋转部件，无法实现小型化，因此对于微电子器件的散热方式仍以自然对流方式为主。

在背景技术部分中公开的上述信息仅仅用于增强对本发明背景的理解，因此可能包含不构成本领域普通技术人员公知的现有技术的信息。

发明内容

鉴于上述问题，为改变现有的散热方式，本发明特别采用一种结构简单、小巧紧凑、零噪音、冷却效果好的微结构式离子风散热方式以克服现有技术中的缺陷，提供更好的散热效果。

本发明的目的是通过以下技术方案予以实现。

一种离子风散热装置包括，

基底，其包括上表面和用于贴合待散热对象的下表面；

离子风发生模块，其包括至少一个离子风发生单元，所述离子风发生单元可叠加地铺设于所述上表面，所述离子风发生单元包括，

微结构高压电极，其底表面平铺于所述上表面，所述微结构高压电极经由高压电源供电，

微结构接地电极，其底表面平铺于所述上表面，所述微结构接地电极接地，其中，所述微结构接地电极与所述微结构高压电极相对设置以在其之间形成离子风道，微结构接地电极相对于微结构高压电极位于所述离子风道的下游侧的位置，微结构高压电极和微结构接地电极的底表面的尺寸均分别远大于其他表面的尺寸。

所述的离子风散热装置中，微结构高压电极构成为与微结构接地电极之间间距变化的形状。

所述的离子风散热装置中，离子风发生单元的微结构接地电极与所述微结构高压电极之间的间距小于相邻所述离子风发生单元之间的距离。

所述的离子风散热装置中，相对设置的微结构接地电极与所述微结构高压电极之间的间距为1μm-100μm，所述间距大小负相关于离子风道的风速。

所述的离子风散热装置中，所述基底为绝缘材料制成的板状结构，所述上表面附有硅层，所述硅层包括氧化层。

所述的离子风散热装置中，微结构高压电极和/或所述微结构接地电极包括如下任一种及其组合：金属铬、金属铜、金属铝、金属钛、金属镍、金属银、铜镍合金、氧化铟锡，微结构高压电极和/或所述微结构接地电极通过物理气相沉积或化学气相沉积沉积在基底的上表面。