[发明专利]气体传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种气体传感器，是在氧的存在下对多个成分的浓度进行测定的气体传感器（10），其中，所述气体传感器具备：

结构体（14），其至少由氧离子传导性的固体电解质构成，

气体导入口（16），其形成于所述结构体，且用于供被测定气体导入，

预备空腔（21），其具有预备泵电极（82），且与所述气体导入口连通，

主空腔（18a），其具有主泵电极（42），且与所述预备空腔连通，

副空腔（18b），其具有辅助泵电极（56），且与所述主空腔连通，

测定空腔（20），其具有测定电极（62），且与所述副空腔连通，

特定成分测定机构（104），其对所述测定空腔内的特定成分的浓度进行测定，

预备氧浓度控制机构（106），其基于所述预备泵电极的电压而对所述预备空腔内的氧浓度进行控制，

主氧浓度控制机构（100），其基于所述主泵电极的电压而对所述主空腔内的氧浓度进行控制，以及

目标成分获取机构（110），基于所述预备氧浓度控制机构的第1动作时的来自所述特定成分测定机构的传感器输出与所述预备氧浓度控制机构的第2动作时的来自所述特定成分测定机构的传感器输出之差、以及所述各传感器输出中的一方，来获取氨和氧化氮的浓度，

所述预备泵电极的至少表面是由针对氨与氧的反应的活性较低的材料来形成的，

所述预备泵电极的表面上的针对氨与氧的反应的活性较低的材料的浓度高于：所述主泵电极的表面上的针对氨与氧的反应的活性较低的材料的浓度。

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，针对氨与氧的反应的活性较低的材料为：包含Au的合金，在此，Au为金。

3.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述预备泵电极的至少表面上的Au浓度为10atm％以上，在此，Au为金。

4.根据权利要求3所述的气体传感器，其中，所述预备泵电极是由Au／Pt合金构成的，并且Au析出在所述预备泵电极的表面上，在此，Au为金，Pt为铂。

5.根据权利要求1所述的气体传感器，其中，所述预备泵电极的表面是利用包含Au的膜进行被覆而成的。

6.一种气体传感器的制造方法，是权利要求1所述的气体传感器的制造方法，其中，

在所述预备空腔内，将在投料组成中含有1wt％以上的Au的Au／Pt合金、与构成所述结构体的固体电解质一起进行烧成，由此来制作出所述预备泵电极，在此，Au为金，Pt为铂。