[发明专利]具有集成的光源的拾取工具

权利要求书

1.一种操作衬底拾取工具的方法，所述方法包括：

激活衬底拾取工具的拾取力；

由所述衬底拾取工具拾取异质衬底；

在所述异质衬底暂时粘附到所述衬底拾取工具的拾取表面时，将所述衬底拾取工具相对于视觉系统进行定位；并且

在所述异质衬底暂时粘附到所述拾取表面时由所述视觉系统捕获所述拾取表面的图像，

其中所述拾取表面是透明的、半透明的或亚透明的中的一种；并且

其中所述衬底拾取工具包括光源，所述光源连同所述拾取表面是相对于所述视觉系统可移动的，所述光源适合使得从所述光源发射的光穿过所述拾取表面到达所述异质衬底以创建待被所述视觉系统捕获的所述异质衬底的轮廓。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述衬底拾取工具是真空驱动的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述衬底拾取工具是电吸附驱动的。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述拾取表面包括泡沫层，并且其中所述泡沫层是透明的、半透明的或亚透明的中的一种。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述衬底拾取工具还包括适合于散射由所述光源发射的光的光扩散器。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述光源发射选自可见光光谱、紫外(UV)光光谱和红外(IR)光光谱中的至少一种光谱的光。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述光源是从所述衬底拾取工具可移除的。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述视觉系统包括照相机。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述视觉系统可操作地与计算设备耦合，该计算设备构造成控制所述衬底拾取工具、所述光源和所述视觉系统中的一个或更多个。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述拾取表面是板组件的拾取表面。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述板组件包括透明的材料、半透明的材料、或亚透明的材料中的一种。

12.根据权利要求10所述的方法，其中所述板组件包括泡沫层，所述泡沫层适合使得从所述光源发射的光至少部分地穿过其中。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述泡沫层包括透明的泡沫材料、半透明的泡沫材料或亚透明的泡沫材料中的一种。

14.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括存储所述轮廓的图像。

15.根据权利要求14所述的方法，所述方法还包括至少基于所述轮廓的所述图像，确定所述异质衬底的方位、尺寸、形状、位置或方向中的至少一个。

16.一种计算机可读介质，其上具有计算机可执行的指令，其中所述指令被布置为执行根据权利要求1-15中任一项所述的方法。