[发明专利]可见光热反射测温装置有效
申请号: | 201910510537.5 | 申请日: | 2019-06-13 |
公开(公告)号: | CN110243759B | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 王大正;刘珠明;郑利兵;司维康 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电工研究所 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/63;G01N21/65 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 李钦晓 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可见 光热 反射 测温 装置 | ||
1.可见光热反射测温装置,其特征在于,包括:
照明光路(3),用于为待测样品(5)提供照明脉冲信号;
样品激励模块(6),用于为所述待测样品(5)施加激励脉冲信号;
成像模块(2),用于捕获所述待测样品(5)反射的照明脉冲反射信号,获取所述待测样品(5)在所述激励脉冲信号的激励下的热过程图像;
其中,所述成像模块(2)在同一成像曝光周期内捕获多个激励脉冲信号的同一相位对应的所述照明脉冲反射信号;所述成像模块(2)在不同成像曝光周期捕获的所述照明脉冲反射信号对应的所述激励脉冲信号的相位不同;沿时间轴所述成像模块(2)的相邻曝光成像周期捕获的所述照明脉冲反射信号相对其对应的所述激励脉冲信号的相位逐一进行延迟,覆盖所述待测样品(5)在同一激励脉冲信号的激励下的完整温度变化周期,沿时间轴所述照明光路(3)在所述成像模块(2)的相邻成像曝光周期所提供的照明脉冲信号相对于所述激励脉冲信号延迟预设时长;激励脉冲信号的周期为所述预设时长M倍,其中,M为大于1的整数;
通过时序控制模块对成像模块、激励脉冲信号和照明脉冲信号进行同步时序控制;
上位机,与所述时序控制模块连接,用于设置时序参数并发送指令;
在一个所述成像模块(2)的成像曝光周期内,对所述待测样品(5)施加多个所述激励脉冲信号,并通过所述照明脉冲信号产生的同步照明脉冲使所述成像模块(2)捕获所述待测样品(5)的热过程中同一相位的多次照明脉冲反射信号,进行多次累积光强。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述照明光路(3)包括:
光源(1),由于发出所述照明脉冲信号,所述光源为LED光源;
分束镜组件,将所述照明脉冲信号反射至所述待测样品上;
光学显微组件(4),用于将所述照明脉冲反射信号放大至成像模块。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述样品激励模块(6)包括:
激励源,通过连接探针(7)与所述待测样品(5)连接,用于产生所述激励脉冲信号。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述成像模块(2)为CCD相机。
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