[发明专利]一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置

权利要求书

1.一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置，其特征在于：它包括呈筒形结构的放电腔体（1）以及同轴固设在放电腔体（1）开口端的屏栅（2）和加速栅（3），所述放电腔体（1）包括环形壁板（11）和固设在环形壁板（11）一端部的底板（12），所述放电腔体（1）内部同轴固设有石英护板（4），底板（12）上开设有若干第一通孔（12-1）和若干第二通孔（12-2），底板（12）上靠近石英护板（4）的一端面设置有若干盘香形天线（5），若干所述第一通孔（12-1）和若干所述第二通孔（12-2）的数量均与若干盘香形天线（5）的数量相同，且每个盘香形天线（5）上位于中心位置的一端对应通过第一通孔（12-1）引出高压极并与射频电源的输出级连接，每个盘香形天线（5）上位于外围的一端对应通过第二通孔（12-2）引出接地极并与射频电源的输出级连接，屏栅（2）与加速栅（3）之间设置有绝缘层（6），且屏栅（2）位于加速栅（3）与放电腔体（1）之间，所述屏栅（2）接正高电压，所述加速栅（3）接低负电压，石英护板（4）与屏栅（2）之间的环形侧壁上开设有进气孔（11-1）。

2.根据权利要求1所述的一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置，其特征在于：底板（12）的外壁与环形壁板（11）的内壁为过盈配合。

3.根据权利要求1或2任一项所述的一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置，其特征在于：所述绝缘层（6）为环形陶瓷垫片，且同轴设置在屏栅（2）与加速栅（3）之间。

4.根据权利要求3所述的一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置，其特征在于：环形陶瓷垫片的厚度为0.5mm。

5.根据权利要求1、2或4任一项所述的一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置，其特征在于：加速栅（3）、绝缘层（6）、屏栅（2）与放电腔体（1）之间采用螺栓连接，且用于螺栓连接的每个螺纹孔均为陶瓷螺纹孔。

6.根据权利要求5所述的一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置，其特征在于：放电腔体（1）的内径为20mm，石英护板（4）与屏栅（2）之间的距离为12mm。

7.根据权利要求6所述的一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置，其特征在于：盘香形天线（5）的外圈直径为2.96mm，若干盘香形天线（5）均布在底板（12）上且最外层的若干盘香形天线（5）的旋转轴线与底板的交点所描绘而形成的形状为类六边形分布。

8.根据权利要求1、2、4、6或7任一项所述的一种涡旋共振电离的微牛级离子推进装置，其特征在于：放电腔体（1）的开口端同轴固设有定位环（13），加速栅（3）、绝缘层（6）、屏栅（2）与放电腔体（1）之间均通过定位环（13）固接。