[发明专利]发光二极管的承载结构及其制造方法有效
申请号: | 201910514124.4 | 申请日: | 2019-06-14 |
公开(公告)号: | CN110610893B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 吴炳昇;吴昭文;翁俊仁 | 申请(专利权)人: | 启端光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L27/15 |
代理公司: | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人: | 贾慧琴;刘琰 |
地址: | 中国台湾台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 承载 结构 及其 制造 方法 | ||
1.一种发光二极管的承载结构,其特征在于,包括:
承载基板;
黏附层,设置于所述的承载基板上;以及
牺牲结构,设置于所述的黏附层上,并包括支撑柱以及截断层,所述的截断层设置于所述的支撑柱上,所述的截断层的接口接合力小于所述的支撑柱的接口接合力;
其中,所述的牺牲结构的结构强度足以承载发光二极管,且当外力施加于所述的发光二极管或所述的承载基板时,所述的截断层为最先被破坏的层,而使所述的发光二极管与所述的承载基板分离。
2.如权利要求1所述的发光二极管的承载结构,其特征在于,所述的牺牲结构设置于所述的发光二极管的电极和所述的黏附层之间。
3.如权利要求1所述的发光二极管的承载结构,其特征在于,所述的牺牲结构设置于所述的发光二极管的绝缘区和所述的黏附层之间。
4.如权利要求1所述的发光二极管的承载结构,其特征在于,所述的牺牲结构设置于所述的发光二极管的周侧和所述的黏附层之间。
5.如权利要求1所述的发光二极管的承载结构,其特征在于,所述的截断层的截面积小于或等于所述的支撑柱的截面积。
6.如权利要求1所述的发光二极管的承载结构,其特征在于,所述的截断层的支撑力小于所述的支撑柱的支撑力。
7.一种发光二极管的承载结构的制造方法,其特征在于,包括:
依序沉积截断层及支撑层于发光二极管上;
部分蚀刻所述的截断层和所述的支撑层,进而形成支撑柱,所述的支撑柱和所述的截断层形成牺牲结构;
沉积黏附层于所述的支撑柱上,使承载基板黏附于所述的黏附层上,以形成叠层组件;以及
移除所述的发光二极管的原生基板,并翻转所述的叠层组件而以所述的牺牲结构支撑所述的发光二极管;
其中,所述的牺牲结构的结构强度足以承载所述的发光二极管,且当外力施加于所述的发光二极管或所述的承载基板时,所述的截断层为最先被破坏的层,而使所述的发光二极管与所述的承载基板分离。
8.如权利要求7所述的发光二极管的承载结构的制造方法,其特征在于,于沉积所述的黏附层于所述的支撑柱上之前,沉积涂布层以覆盖所述的牺牲结构,并部分蚀刻所述的涂布层以暴露所述的支撑柱。
9.如权利要求7所述的发光二极管的承载结构的制造方法,其特征在于,所述的牺牲结构设置于所述的发光二极管的电极和所述的黏附层之间。
10.如权利要求7所述的发光二极管的承载结构的制造方法,其特征在于,所述的牺牲结构设置于所述的发光二极管的绝缘区和所述的黏附层之间。
11.如权利要求7所述的发光二极管的承载结构的制造方法,其特征在于,所述的牺牲结构设置于所述的发光二极管的周侧和所述的黏附层之间。
12.如权利要求7所述的发光二极管的承载结构的制造方法,其特征在于,所述的截断层的截面积小于或等于所述的支撑柱的截面积。
13.如权利要求7所述的发光二极管的承载结构的制造方法,其特征在于,所述的截断层的支撑力小于所述的支撑柱的支撑力。
14.如权利要求7所述的发光二极管的承载结构的制造方法,其特征在于,所述的截断层的接口接合力小于所述的支撑柱的接口接合力。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造