[发明专利]真空喷射器及密封阀单元

说明书

本发明提供具备即使破坏压较高也能可靠地动作的密封阀的真空喷射器和密封阀单元。在真空产生机构(50)与破坏流路(48)之间设置有密封阀机构(70)的真空喷射器(10B)中，密封阀机构(70)构成为具备阀芯(76)，并且使该阀芯(76)通过活塞部(66)从密封口(65)分离而打开，该阀芯(76)被从破坏流路(48)侧向密封口(65)对该阀芯施力而封闭密封口(65)，该活塞部通过被供给到真空产生机构(50)的供给空气进行动作。

技术领域

本发明涉及一种向吸附用垫等作业设备供给负压的真空喷射器以及密封阀单元。

背景技术

以往，例如已知有作为工件的输送单元使用的真空喷射器。该真空喷射器使压缩空气流动到扩散器(也称为喷射部或真空产生机构)并产生负压而吸附工件。并且，一边保持吸附状态一边使工件移位。此后，通过解除吸附状态，而使工件脱离到规定位置并进行工件的输送等。

在以往的真空喷射器中，为了可靠地进行工件的脱离，存在具有向负压流路送入破坏空气(压缩空气)的功能的真空喷射器。

另外，在日本特开平8-68400号公报中记载了真空喷射器构成为在负压流路与扩散器之间设置密封阀，从而在解除吸附状态时能够可靠地进行负压破坏。

可是，根据用途，为了除去粘贴在吸附垫的工件，或去除附着于工件的尘埃、异物，存在需要更高压的破坏空气的情况。

在这样的情况下，在对负压流路与产生负压的喷射部(真空产生机构)之间进行密封，并且破坏空气不流出到真空产生机构侧的密封阀中，期望即使相对于更高压的破坏空气也可靠地进行动作的构造。

另外，根据用途，也存在不需要向工件吹送高压的破坏空气，并且破坏空气不需要较高的压力的情况。在该情况下，不需要成本较高的密封阀，优选尽可能地使装置结构简化。因此，优选能够根据需要从真空喷射器拆卸密封阀。

发明内容

下述公开的一观点的真空喷射器具备：供给端口，该供给端口供给压缩空气；真空端口，该真空端口与吸附单元连接；真空产生机构，该真空产生机构在从所述供给端口供给的供给空气的作用下产生负压；破坏阀，该破坏阀向所述真空端口供给破坏空气；供给流路，该供给流路连接所述供给端口和所述真空产生机构，并且在该供给流路上具备供给阀；负压流路，该负压流路连接所述真空产生机构和所述真空端口；破坏流路，该破坏流路连接所述破坏阀和所述负压流路；以及密封阀机构，该密封阀机构配置于所述真空产生机构与所述破坏流路之间的所述负压流路，并且阻止通过所述破坏流路而被供给到所述真空端口的破坏空气向所述真空产生机构流出，所述密封阀机构通过来自所述供给阀的供给空气的供给而成为打开状态，当来自所述供给阀的供给空气的供给停止时所述密封阀机构成为关闭状态。

根据上述真空喷射器，虽然使密封阀机构为关闭状态，但不需要供给空气(或破坏空气)的作用。因此，即使是在破坏空气的破坏压力较高的情况下，也能够继续维持关闭状态。即，即使是在将更高压的破坏空气供给到负压流路的情况下，由于密封阀机构被维持在关闭状态，因此也能够可靠地密封负压流路。

在上述观点的真空喷射器中，所述密封阀机构也可以具备：密封口，该密封口是对所述负压流路进行缩径而成的；阀芯，该阀芯被从所述破坏流路侧向所述密封口施力而封闭所述密封口；以及活塞部，该活塞部受到所述供给空气的压力而使所述阀芯向从所述密封口分离的方向移位。

上述真空喷射器构成为密封阀机构的阀芯被从破坏流路侧朝向密封口施力，从而封闭密封口。因此，即使是在破坏流路侧的破坏压力较高的情况下，也能够可靠地密封负压流路，而阀芯不会打开。

在上述观点的真空喷射器中，也可以构成为，在所述活塞部的顶端部形成有缩径部，该缩径部的直径比所述密封口的直径小，该缩径部与所述阀芯抵接并按压所述阀芯，从而使所述阀芯从所述密封口分离。