[发明专利]一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统及纯化方法

权利要求书

1.一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统，包括第一纯化罐(A)和第二纯化罐(B)，第一纯化罐(A)一端通过第一气动阀(AV1A)连接至进气口，另一端通过第二气动阀(AV2A)连接至出气口，第二纯化罐两端分别通过第三气动阀(AV1B)、第四气动阀(AV2B)与第一纯化罐(A)并联；第四气动阀(AV2B)出口通过依次连接第五气动阀(AV4A)、第一纯化罐(A)、再生尾气散热装置(C)、第六气动阀(AV3A)后接入尾气管路；第二气动阀(AV2A)出口通过依次连接第七气动阀(AV4B)、第二纯化罐(B)、再生尾气散热装置(C)、第八气动阀(AV3B)后接入尾气管路，其特征在于：在第四气动阀(AV2B)出口至第五气动阀(AV4A)及第二气动阀(AV2A)出口至第七气动阀(AV4B)之间的一共有管路上设有再生压力监控装置，包括依次设置第九气动阀(AV5)、波纹管计量阀(BMV1)、单向阀(CV1)、压力变送器(PX2)，第九气动阀(AV5)的入口分别与第四气动阀(AV2B)、第二气动阀(AV2A)的出口相连，压力变送器(PX2)分别与第五气动阀(AV4A)、第七气动阀(AV4B)的进口相连。

2.如权利要求1所述的一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统，其特征在于，所述压力变送器(PX2)为具有用以显示实时压力的触摸显示屏的压力变送器。

3.如权利要求1所述的一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统，其特征在于，所述尾气管路包括依次设置的针阀(NV1)、流量计(FMO1)。

4.一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化方法，基于上述任一权利要求所述的一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统，其具体步骤如下所述：

再生气流量调节过程：通过波纹管计量阀(BMV1)和后端针阀(NV1)配合调节纯化罐内压力为2.5Barg，流量20SLM，如下：

1)先将波纹管计量阀(BMV1)调节至3Barg，再通过后端针阀(NV1)调节流量到20SLM，此时纯化罐内压力降低；

2)如纯化罐内压力低于2.5Barg，再通过波纹管计量阀(BMV1)将压力调高至2.5Barg，此时流量可能大于20SLM，需调节针阀(NV1)，将流量调小至20SLM，此时纯化罐内压力会超过2.5Barg；

3)再通过波纹管计量阀(BMV1)微调压力至2.5Barg，通过反复调节波纹管计量阀(BMV1)和针阀(NV1)，将纯化罐内压力稳定在2.5Barg，流量20SLM；

4)上述步骤1)～步骤3)将纯化罐内压力调节至2.5Barg，流量20SLM，当第一、二气动阀(AV1A、AV2A)泄漏时，必定会引起纯化罐内压力升高，当压力高于5Barg时，此时将触发压力变送器超压报警，再生停止，待现场排查后再进行恢复，从而达到对第一、二气动阀(AV1A、AV2A)泄漏监控。

5.如权利要求4所述的一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化方法，其特征在于，当第一气动阀(AV1A)发生大泄漏时，纯化罐内压力快速升高至5Barg，而未触发超压报警，压力变送器失效，当压力升高至超过纯化后工艺气压力时，单向阀(CV1)将阻止进气工艺气反向流入纯化后工艺气，可有效保证纯化后工艺气品质，从而保护好客户后端设备，而当压力变送器未失效时，当纯化罐内压力达到5Barg时，将触发超压报警，将停止再生，第九气动阀(AV5)、第五气动阀(AV4A)、第六气动阀(AV3A)关闭，待问题排查后，才可恢复再生。

6.如权利要求4所述的一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化方法，其特征在于，超压报警可由压力变送器提供4～20mA信号通讯给PLC，PLC将其显示在用户界面的触摸屏上，并通过声光报警提示用户，以实现报警。