[发明专利]离子源成像装置

权利要求书

1.一种离子源成像装置，其特征在于，包括离子源腔体、离子源加电模块、反射镜、透光密封件、成像镜头、镜头支撑件以及图像获取机构，所述离子源腔体具有样品窗口以及光反射窗口，所述离子源加电模块设在所述离子源腔体内且靠近于所述样品窗口，所述透光密封件安装在所述光反射窗口内以密封所述光反射窗口，所述镜头支撑件位于所述离子源腔体的外部且连接所述离子源腔体，所述镜头支撑件具有反射通道，所述反射通道的一端与所述样品窗口相对，所述成像镜头与所述镜头支撑件可转动连接且与所述反射通道的另一端相通，所述图像获取机构与所述成像镜头连接，所述离子源腔体内以及所述反射通道内均设有所述反射镜，所述离子源腔体内的反射镜、所述反射通道内的反射镜能够将样品窗口处的图像发射至所述成像镜头内。

2.根据权利要求1所述的离子源成像装置，其特征在于，所述反射通道呈直角弯折，所述反射通道内的反射镜用于将来自所述离子源腔体内的反射镜的光线直角反射至所述成像镜头内。

3.根据权利要求1所述的离子源成像装置，其特征在于，所述反射通道内的反射镜设置在所述反射通道的直角拐角处。

4.根据权利要求3所述的离子源成像装置，其特征在于，所述离子源成像装置还包括反射镜固定件，所述镜头支撑件具有连通于所述反射通道的支撑件通道，所述反射镜固定件具有用放置反射镜的放置平台，所述反射镜平台通过所述支撑件通道延伸至所述反射通道内，所述反射镜固定件与所述镜头支撑件连接。

5.根据权利要求4所述的离子源成像装置，其特征在于，所述反射镜固定件与所述镜头支撑件可拆卸式连接。

6.根据权利要求5所述的离子源成像装置，其特征在于，所述离子源成像装置还包括螺杆，所述反射镜固定件与所述镜头支撑件通过所述螺杆实现可拆卸式连接。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的离子源成像装置，其特征在于，所述离子源成像装置还包括镜头螺母，所述镜头支撑件朝向所述成像镜头的一端具有凸台，所述凸台的外周壁具有螺纹，所述成像镜头朝向所述镜头支撑件的一端的外周壁具有螺纹，所述成像镜头与所述凸台抵接，所述镜头螺母与所述成像镜头、所述镜头支撑件螺纹连接实现所述成像镜头与所述镜头支撑件连接。

8.根据权利要求1-6任意一项所述的离子源成像装置，其特征在于，所述图像获取机构为工业相机。

9.根据权利要求1-6任意一项所述的离子源成像装置，其特征在于，所述反射镜为直角三棱镜。

10.根据权利要求1-6任意一项所述的离子源成像装置，其特征在于，所述图像获取机构与所述成像镜头螺纹连接。