[发明专利]一种压电驱动纳米定位平台的控制方法及相关装置

权利要求书

1.一种压电驱动纳米定位平台的控制方法，其特征在于，包括：

接收原始输入信号并利用非对称SI输入整形器对所述原始输入信号进行滤波处理后输出滤波处理后的输入信号至闭环控制系统；其中，所述闭环控制系统包括PD控制器与压电驱动纳米定位平台；

获取所述闭环控制系统的输入信号与所述闭环控制系统的输出信号，并根据所述输入信号与所述输出信号确定所述PD控制器的控制参数的调节值；

基于所述调节值修改所述PD控制器的所述控制参数。

2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述根据所述输入信号与所述输出信号确定所述PD控制器的控制参数的调节值，包括：

根据所述输入信号与所述输出信号通过自适应代数辨识算法确定所述PD控制器的所述控制参数的调节值。

3.根据权利要求2所述的控制方法，其特征在于，所述非对称SI输入整形器的创建过程包括：

根据预设不敏感系数确定所述非对称SI输入整形器的鲁棒频率范围；

重复执行约束方程组直至在所述鲁棒频率范围内残余振动小于或等于最大容许残余振动；

根据在所述鲁棒频率范围内残余振动小于或等于最大容许残余振动时得到的非对称自然频率、脉冲振幅以及脉冲时间得到所述非对称SI输入整形器。

4.根据权利要求3所述的控制方法，其特征在于，还包括：

调整所述非对称SI输入整形器的所述鲁棒频率范围。

5.一种压电驱动纳米定位平台的控制系统，其特征在于，包括：

信号滤波模块，用于接收原始输入信号并利用非对称SI输入整形器对所述原始输入信号进行滤波处理后输出滤波处理后的输入信号至闭环控制系统；其中，所述闭环控制系统包括PD控制器与压电驱动纳米定位平台；

确定模块，用于获取所述闭环控制系统的输入信号与所述闭环控制系统的输出信号，并根据所述输入信号与所述输出信号确定所述PD控制器的控制参数的调节值；

参数修改模块，用于基于所述调节值修改所述PD控制器的所述控制参数。

6.根据权利要求5所述的控制系统，其特征在于，所述确定模块具体用于根据所述输入信号与所述输出信号通过自适应代数辨识算法确定所述PD控制器的所述控制参数的调节值。

7.根据权利要求6所述的控制系统，其特征在于，还包括：

频率调整模块，用于调整所述非对称SI输入整形器的鲁棒频率范围。

8.一种压电驱动纳米定位平台的控制装置，其特征在于，包括：

存储器，用于存储计算机程序；

处理器，用于执行所述计算机程序时实现如权利要求1至4任一项所述的压电驱动纳米定位平台的控制方法的步骤。

9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至4任一项所述的压电驱动纳米定位平台的控制方法的步骤。