[发明专利]平行光管悬挂扫描检测大口径光学系统的装置及方法

权利要求书

1.平行光管悬挂扫描检测大口径光学系统的方法，所述方法基于平行光管悬挂扫描检测大口径光学系统的装置，所述装置包括二维平移机构(1)、悬式平行光管(2)、待检光学系统(3)、夏克-哈特曼检测仪(4)，所述悬式平行光管(2)悬挂于可X、Y方向运动的二维平移机构(1)上，所述悬式平行光管(2)设置于待检光学系统(3)的上方，并按照预定轨迹扫描待检光学系统(3)的全口径，所述夏克-哈特曼检测仪(4)用于获取光斑质心位置；所述悬式平行光管(2)包括小口径平行光管(7)、阻尼叶筒(8)和油筒(10)，所述阻尼叶筒(8)套设在小口径平行光管(7)外，所述油筒(10)中设置有油液，所述阻尼叶筒(8)的叶片浸于油液中；其特征在于，所述方法包括：将一悬式平行光管(2)悬挂在一可X、Y方向运动的二维平移机构(1)上，撤去外力干扰时，平行光管将绕悬点来回摆动，一段时间后，摆动振幅越来越小并趋于完全静止，停在平衡位置；在二维平移机构(1)的带动下，使用悬式平行光管(2)按照预定轨迹扫描待检光学系统(3)的全口径；悬式平行光管(2)产生的平行光入射到待检光学系统(3)内，被入射光所覆盖的部分待检光学系统将入射的平行光聚焦到成像焦面上；通过提取夏克-哈特曼检测仪(4)中光斑质心位置，计算出任一焦点处与理想位置的偏移量，进而得到对应子孔径内的波前平均斜率，再引入波前重构算法还原待检波前信息，从而得出待测大口径光学系统在小平行光管处的成像波面误差。