[发明专利]半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法

权利要求书

1.一种半导体工艺电源控制方法，其特征在于，包括：

接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率；

同时启动计时器，开始计时；

判断计时时长是否达到定时时间段；

若所述计时时长达到了所述定时时间段，则控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述接收电源启动信号，控制电源进入可用状态并输出功率之前，还包括：

接收定时时间段通知信息，解析所述定时时间段通知信息，获取所述定时时间段。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括：

若所述计时时长未达到所述定时时间段，则判断是否接收到了电源停止信号；

若接收到了所述电源停止信号，则控制所述电源保持在所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；

若未接收到所述电源停止信号，则控制所述电源保持在所述可用状态并持续输出功率。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率之后，还包括：

判断是否接收到了电源停止信号；

若接收到了所述电源停止信号，则控制所述电源重新进入所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；

若未接收到所述电源停止信号，则循环判断是否接收到了所述电源停止信号。

5.一种半导体工艺电源控制系统，包括：工艺控制设备以及电源，其特征在于，还包括：分别与所述工艺控制设备、所述电源连接的控制装置；

所述控制装置具有计时器；

所述工艺控制设备用于向所述控制装置发送电源启动信号；

所述控制装置用于在接收到所述电源启动信号时，控制所述电源进入可用状态并输出功率；同时启动所述计时器，开始计时，在所述计时器的计时时长达到了定时时间段时，控制所述电源进入禁用状态并停止输出功率。

6.根据权利要求5所述的半导体工艺电源控制系统，其特征在于，

所述工艺控制设备还用于向所述控制装置发送含有所述定时时间段的时间段通知信息；

所述控制装置还用于在接收到所述定时时间段通知信息时，解析所述定时时间段通知信息，获取所述定时时间段。

7.根据权利要求5或6所述的半导体工艺电源控制系统，其特征在于，

所述工艺控制设备还用于向所述控制装置发送电源停止信号；

所述控制装置还用于在所述计时时长未达到所述定时时间段，且接收到了电源停止信号时，控制所述电源保持在所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；在所述计时时长未达到所述定时时间段，且未接收到所述电源停止信号时，控制所述电源保持在所述可用状态并持续输出功率。

8.根据权利要求5或6所述的半导体工艺电源控制系统，其特征在于，

所述工艺控制设备还用于向所述控制装置发送电源停止信号；

所述控制装置还用于在所述电源进入禁用状态并停止输出功率，且接收到了所述电源停止信号时，控制所述电源重新进入所述可用状态但停止输出功率，并重置所述计时器；在所述电源进入禁用状态并停止输出功率，且未接收到所述电源停止信号时，循环判断是否接收到了所述电源停止信号。

9.根据权利要求5或6所述的半导体工艺电源控制系统，其特征在于，所述工艺控制设备还用于向所述电源发送设定功率值；

所述电源还用于在接收到所述设定功率值时，按所述设定功率值输出功率。

10.一种半导体设备，所述半导体设备包括半导体工艺电源控制系统，其特征在于，所述半导体工艺电源控制系统采用权利要求5-9任一项所述的半导体工艺电源控制系统。