[发明专利]检测设备及检测方法

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，包括：

检测系统，包括：第一探测光源，用于向待测物第一探测区发射第一探测光；探测装置，用于接收所述第一探测区返回的第一探测光；

离焦测量系统，用于测量待测物相对于检测系统的离焦度，包括：第二探测光源，用于向待测物第二探测区发射第二探测光；接收组件，用于接收经所述第二探测区返回的第二探测光，并根据返回的第二探测光获取第二探测区离焦度，所述第二探测区与所述第一探测区至少部分重合；

调节装置，用于根据所述离焦度调节待测物和检测系统之间的相对位置关系，减小离焦度。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括：第一物镜，用于收集返回的第一探测光，并收集返回的第二探测光；

分束器，用于将第一物镜收集的光分为第一光束和第二光束，所述第一光束和第二光束分别被探测装置和接收装置接收。

3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一物镜收集的第一探测光的出射角为零度，所述第二探测光垂直入射至所述第一探测区表面；所述第一物镜还用于将所述第二探测光源发射的第二探测光汇聚至所述待测物表面。

4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述探测装置包括第一探测组件；

所述分束器用于将第二探测光反射至第一物镜，并使第一物镜收集的第二探测光反射至接收组件；所述第一物镜用于将分束器反射的第二探测光汇聚至待测物表面；所述分束器还用于使第一物镜收集的第一探测光透射至第一探测组件；

或者，所述分束器使第二探测光透射至第一物镜，并使第一物镜收集的第二探测光透射至接收组件；所述第一物镜用于将分束器透射的第二探测光汇聚至待测物表面；所述分束器还用于使第一物镜收集的第一探测光反射至第一探测组件。

5.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第二探测光的入射角为锐角，所述第一物镜收集的第二探测光的出射角为锐角；所述第一物镜收集的第一探测光的出射角为锐角。

6.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一探测光与第二探测光的波长不相等；所述探测装置还包括：第一滤波组件，用于对第一光束中的第二探测光进行过滤。

7.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一探测光与第二探测光的波长不相等，所述接收装置还包括：第二滤波组件，用于对第二光束中的第一探测光进行过滤。

8.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述探测装置用于接收第一探测区散射的第一探测光，所述待测物返回的第一探测光具有出射角；

所述探测装置包括至少一个探测组件，用于分别探测具有不同出射角的第一探测光。

9.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第二探测光的入射角为锐角，所述第二探测光的出射角与探测装置接收的第一探测光的出射角不相同；所述第二探测光的入射角与所述第一探测光的入射角不相同。

10.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第二探测光源具有聚焦面和分界面，所述第二探测光在所述聚焦面上形成的光斑尺寸最小，所述第二探测光在位于聚焦面靠近待测物一侧和远离待测物一侧的平面上形成的光斑分别位于所述分界面两侧。

11.如权利要求10所述的检测设备，其特征在于，所述聚焦面与检测系统的焦平面重合。

12.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括：第一控制系统，当第一探测区的离焦度大于预定阈值时，控制调节装置调节待测物和检测系统之间的相对位置关系。

13.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括：第二控制系统，用于控制所述离焦测量系统在不同的检测时刻对当前第一探测区的离焦度进行测量。