[发明专利]一种保温炉防护装置

说明书

本发明涉及保温炉防护附属装置的技术领域，特别是涉及一种保温炉防护装置，其可以有效的对裸露在保温炉两端的硅碳棒冷端棒头及接电电缆进行防护，并有效防止硅碳棒或硅碳棒接电电缆发生电气短路打火危害，提高生产中的设备及人员的安全性，同时无须整体拆下即可方便地对硅碳棒等元件进行维护及点检，包括防护罩和隔离片，防护罩包括防护框架和防护门板，防护门板与防护框架通过不锈钢铰链或螺钉连接固定，防护框架远离保温炉炉口的边框上开设有电线穿线孔，防护门板上设置有多组散热孔，防护框架靠近保温炉炉口的侧面设置有防护框内折边，防护框内折边上设置有隔离片螺纹孔，隔离片上设置有隔离片固定孔，隔离片通过螺栓安装于防护框内折边上。

技术领域

本发明涉及保温炉防护附属装置的技术领域，特别是涉及一种保温炉防护装置。

背景技术

众所周知，保温炉是PCVD工艺的一个非常重要的部件，用于对石英衬底管的沉积反应区进行保温，使得石英衬底管在合适的温度条件下，在石英衬底管内壁完成石英玻璃层的沉积。保温炉一般由2个半长方体组成，并可张开，铺设有保温层的炉壳内设置有加热元件用于对整个炉壳空腔进行加热，炉体中心开设有纵向通槽，并在保温炉两端开设有略大于石英衬底管尾管直径的通孔。现有保温炉的加热元件一般为纵向贯穿炉壳前后部的大硅碳棒以及设置于保温炉两端的辅助小碳棒，用于连接加热电源的硅碳棒冷端棒头均设置于保温炉的两端，因此，保温炉两端均需要安装防护装置，以避免人员或其他导体碰触到硅碳棒或硅碳棒接电线缆，从而造成加热元件短路打火，对人员造成伤害。

在PCVD工艺期间，保温炉工作温度一般大于1000℃，炉壳两端由于开设有多个硅碳棒通孔以及石英衬底管通孔的原因，炉壳两端的温度非常高，且硅碳棒属于易耗品，必须充分考虑其更换维护的便利性，因此对防护装置的耐高温性，散热性，抗变形能力以及防护装置内接电线缆的拆卸方便性均有较高的要求。更加困难的还在于，由于PCVD工艺生产前后，均需要对保温炉进行升，降，开，合等多次操作，设置于保温炉内的硅碳棒，尤其是大硅碳棒容易沿硅碳棒通孔发生纵向位移，导致硅碳棒或硅碳棒接电电缆碰触到保温炉炉壁或防护罩，进而造成电气短路打火等危险，影响生产及人员的安全性。

现有的保温炉防护装置在进行硅碳棒或接电电缆维护时，需将防护装置整体拆下，维护或检查完毕后再重新安装回位，这带来了维护的不便且难以进行该部位的日常点检工作，增加了生产运行安全上的不确定性。为防止硅碳棒位移造成硅碳棒碰触到防护罩而形成电气短路，现有技术一般在防护罩内壁安装高温陶瓷片等方式，但在实际生产中，高温陶瓷片虽然可以避免硅碳棒碰触到防护罩，但不能避免硅碳棒接电电缆因硅碳棒发生位移而导致其与保温炉炉壁接触，仍然容易发生电气短路打火的危险。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种可以有效的对裸露在保温炉两端的硅碳棒冷端棒头及接电电缆进行防护，并有效防止硅碳棒或硅碳棒接电电缆发生电气短路打火危害，提高生产中的设备及人员的安全性，同时无须整体拆下即可方便地对硅碳棒等元件进行维护及点检，安全可靠的保温炉防护装置。

本发明的一种保温炉防护装置，包括防护罩和隔离片，所述防护罩包括防护框架和防护门板，所述防护门板与防护框架通过不锈钢铰链或螺钉连接固定，所述防护框架远离保温炉炉口的边框上开设有电线穿线孔，防护门板上设置有多组散热孔，防护框架靠近保温炉炉口的侧面设置有防护框内折边，并在防护框内折边上设置有隔离片螺纹孔，所述隔离片上设置有隔离片固定孔，隔离片通过螺栓安装于防护框内折边上。

本发明的一种保温炉防护装置，所述防护框架和防护门板均采用304不锈钢板弯折机焊接而成，防护框架和防护门板的厚度为2-5mm。

本发明的一种保温炉防护装置，所述防护框架的后端设置有翻边，并在翻边上设置有固定通孔，防护边框通过翻边上的固定通孔安装于保温炉的两端。

本发明的一种保温炉防护装置，所述隔离片采用耐高温绝缘分金属材料，隔离片可以为耐高温刚玉陶瓷。