[发明专利]抽吸装置

权利要求书

1.一种用于电镀槽的抽吸装置，其特征在于，包括：

抽吸部件，包括多个抽吸口，所述多个抽吸口分布于所述抽吸部件的底部以去除所述电镀槽中的气泡；以及

转轴，所述转轴的第一端固定地连接至所述抽吸部件的顶部，

其中，所述多个抽吸口分别位于距所述转轴不同的垂直距离处。

2.根据权利要求1所述的抽吸装置，其特征在于，

所述多个抽吸口包括第一抽吸口和第二抽吸口；

所述多个第一抽吸口与所述多个第二抽吸口的位置和尺寸被配置为：在所述抽吸部件围绕所述转轴的轴线旋转时，所述多个第一抽吸口中的每一个的运动轨迹与所述多个第二抽吸口中的每一个的运动轨迹彼此互补。

3.根据权利要求2所述的抽吸装置，其特征在于，

所述抽吸部件包括第一抽吸管和第二抽吸管；

所述多个第一抽吸口位于所述第一抽吸管的底部并与所述第一抽吸管流体联通；

所述多个第二抽吸口位于所述第二抽吸管的底部并与所述第二抽吸管流体联通。

4.根据权利要求3所述的抽吸装置，其特征在于，

所述第一抽吸管与所述第二抽吸管连接，使得所述第一抽吸管与所述第二抽吸管流体联通。

5.根据权利要求4所述的抽吸装置，其特征在于，

所述转轴包括通道并连接至所述第一抽吸管与所述第二抽吸管的连接处，使得所述通道与所述第一抽吸管和所述第二抽吸管流体联通。

6.根据权利要求3所述的抽吸装置，其特征在于，

所述第一抽吸管还包括位于其顶部的两个第一出口；

所述第二抽吸管还包括位于其顶部的两个第二出口；

所述抽吸装置还包括第一过渡管和第二过渡管；

所述第一过渡管平行于所述第一抽吸管并连接在所述两个第一出口之间，使得所述第一过渡管与所述第一抽吸管流体联通；

所述第二过渡管平行于所述第二抽吸管并连接在所述两个第二出口之间，使得所述第二过渡管与所述第二抽吸管流体联通；

所述第一过渡管与所述第二过渡管连接，使得所述第一过渡管与所述第二过渡管流体联通。

7.根据权利要求6所述的抽吸装置，其特征在于，

所述转轴包括通道并连接至所述第一过渡管与所述第二过渡管的连接处，使得所述通道与所述第一过渡管和所述第二过渡管流体联通。

8.根据权利要求2所述的抽吸装置，其特征在于，

所述抽吸部件仅包括一个抽吸管；

所述多个第一抽吸口位于所述抽吸管相对于所述转轴的第一侧并与所述抽吸管流体联通；

所述多个第二抽吸口位于所述抽吸管相对于所述转轴的第二侧并与所述抽吸管流体联通；

所述第一侧与所述第二侧相对。

9.根据权利要求8所述的抽吸装置，其特征在于，

所述转轴包括通道并连接至所述抽吸管，使得所述通道与所述抽吸管流体联通。

10.根据权利要求2所述的抽吸装置，其特征在于，

所述抽吸部件包括一个抽吸圆盘；

所述多个第一抽吸口与所述多个第二抽吸口分布于所述抽吸圆盘的底部并与所述抽吸圆盘的内部流体联通；

所述转轴包括通道并连接至所述抽吸圆盘，使得所述转轴中的通道与所述抽吸圆盘的内部流体联通。

11.根据权利要求1所述的抽吸装置，其特征在于，在所述抽吸部件围绕所述转轴的轴线旋转时，所述多个抽吸口的运动轨迹部分重叠。

12.根据权利要求1所述的抽吸装置，其特征在于，还包括：

泵，连接至所述转轴的与所述第一端相对的第二端并被配置为向所述多个抽吸口提供吸力。