[发明专利]二维磁性半导体材料MnIn2Se4的制备方法及在光探测器和场效应晶体管的应用在审

专利信息
申请号: 201910519508.5 申请日: 2019-06-14
公开(公告)号: CN110257916A 公开(公告)日: 2019-09-20
发明(设计)人: 杨珏晗;魏钟鸣;沈国震;邓惠雄;娄正;文宏玉 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: C30B29/46 分类号: C30B29/46;C30B25/00;H01L29/24;H01L31/032
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 喻颖
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 制备 铟硒 半导体材料 二维磁性 场效应晶体管 光探测器 得到混合物 高温管式炉 环境无污染 混合物真空 可见光 加热设备 晶体结晶 光响应 晶体的 铁磁性 放入 锰粉 硒粉 铟粒 生长 应用
【权利要求书】:

1.一种锰铟硒晶体的制备方法,包括如下步骤:

(1)将锰粉、铟粒、硒粉混合,得到混合物;

(2)将步骤(1)得到的混合物真空封入容器内后放入加热设备中生长,得到锰铟硒晶体。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,

在步骤(1)得到的混合物中先加入传输介质后再执行步骤(2);

作为优选,所述的传输介质为碘;

作为进一步优选,所述碘的质量分数为混和物总质量的5-10%。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,

步骤(1)中所述的锰粉、铟粒、硒粉的摩尔比为1∶(1.8-2.2)∶(3.8-4.2)、优选1∶2∶4。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,

步骤(2)中所述生长方法包括化学气相输运法或化学气相沉积法;

作为优选,步骤(2)中在所述加热设备中的生长时间为3~5天、优选4天;

作为优选,步骤(2)中所述加热设备为管式炉,其包括双温区,高温端温度为900-1100℃、优选950℃,低温端温度800-900℃、优选880℃,将步骤(1)中所述混合物放在热端生长;

作为进一步优选,步骤(2)中所述生长步骤中包括将加热设备升温10小时,升温过程中升温速率为每小时90-100℃且高温端与低温端两端温差为65-75℃、温差优选70℃;

作为优选,步骤(2)中所述生长步骤结束后将装有锰铟硒晶体的容器冷却至20-30℃后再打开。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,

步骤(2)中所述容器的真空度为10-6-10-4torr、优选10-5torr;

作为优选,步骤(2)中所述容器包括石英管或密闭坩埚;

作为进一步优选,所述石英管的长为15-25cm、优选20cm,内径为1-5cm、优选2cm。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,

所述锰铟硒晶体的结构表达式为MnIn2Se4,结构为菱形结构,所属空间群为

7.一种如权利要求1-6任一项所述的制备方法制得的锰铟硒晶体。

8.一种二维磁性半导体材料,其特征在于,将如权利要求7所述的锰铟硒晶体进行剥离后得到;

作为优选,所述的剥离方法包括机械剥离;

作为优选,所述二维磁性半导体材料的厚度为2-30nm;

作为优选,所述二维磁性半导体材料的层问通过范德瓦尔斯力结合,层内原子通过共价键结合;

作为优选,所述二维磁性半导体材料在2-5K时具有磁性。

9.一种光探测器,其特征在于,内含有如权利要求8所述的二维磁性半导体材料。

10.一种场效应晶体管,其特征在于,内含有如权利要求8所述的二维磁性半导体材料。

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