[发明专利]二维磁性半导体材料MnIn2Se4的制备方法及在光探测器和场效应晶体管的应用在审
申请号: | 201910519508.5 | 申请日: | 2019-06-14 |
公开(公告)号: | CN110257916A | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 杨珏晗;魏钟鸣;沈国震;邓惠雄;娄正;文宏玉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | C30B29/46 | 分类号: | C30B29/46;C30B25/00;H01L29/24;H01L31/032 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 喻颖 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 铟硒 半导体材料 二维磁性 场效应晶体管 光探测器 得到混合物 高温管式炉 环境无污染 混合物真空 可见光 加热设备 晶体结晶 光响应 晶体的 铁磁性 放入 锰粉 硒粉 铟粒 生长 应用 | ||
1.一种锰铟硒晶体的制备方法,包括如下步骤:
(1)将锰粉、铟粒、硒粉混合,得到混合物;
(2)将步骤(1)得到的混合物真空封入容器内后放入加热设备中生长,得到锰铟硒晶体。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,
在步骤(1)得到的混合物中先加入传输介质后再执行步骤(2);
作为优选,所述的传输介质为碘;
作为进一步优选,所述碘的质量分数为混和物总质量的5-10%。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,
步骤(1)中所述的锰粉、铟粒、硒粉的摩尔比为1∶(1.8-2.2)∶(3.8-4.2)、优选1∶2∶4。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,
步骤(2)中所述生长方法包括化学气相输运法或化学气相沉积法;
作为优选,步骤(2)中在所述加热设备中的生长时间为3~5天、优选4天;
作为优选,步骤(2)中所述加热设备为管式炉,其包括双温区,高温端温度为900-1100℃、优选950℃,低温端温度800-900℃、优选880℃,将步骤(1)中所述混合物放在热端生长;
作为进一步优选,步骤(2)中所述生长步骤中包括将加热设备升温10小时,升温过程中升温速率为每小时90-100℃且高温端与低温端两端温差为65-75℃、温差优选70℃;
作为优选,步骤(2)中所述生长步骤结束后将装有锰铟硒晶体的容器冷却至20-30℃后再打开。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,
步骤(2)中所述容器的真空度为10-6-10-4torr、优选10-5torr;
作为优选,步骤(2)中所述容器包括石英管或密闭坩埚;
作为进一步优选,所述石英管的长为15-25cm、优选20cm,内径为1-5cm、优选2cm。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,
所述锰铟硒晶体的结构表达式为MnIn2Se4,结构为菱形结构,所属空间群为
7.一种如权利要求1-6任一项所述的制备方法制得的锰铟硒晶体。
8.一种二维磁性半导体材料,其特征在于,将如权利要求7所述的锰铟硒晶体进行剥离后得到;
作为优选,所述的剥离方法包括机械剥离;
作为优选,所述二维磁性半导体材料的厚度为2-30nm;
作为优选,所述二维磁性半导体材料的层问通过范德瓦尔斯力结合,层内原子通过共价键结合;
作为优选,所述二维磁性半导体材料在2-5K时具有磁性。
9.一种光探测器,其特征在于,内含有如权利要求8所述的二维磁性半导体材料。
10.一种场效应晶体管,其特征在于,内含有如权利要求8所述的二维磁性半导体材料。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所,未经中国科学院半导体研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910519508.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。