[发明专利]一种用于制备纳米材料的气相反应炉在审
申请号: | 201910519665.6 | 申请日: | 2019-06-17 |
公开(公告)号: | CN110144568A | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 阮诗伦;李朝阳;张留新;樊利芳;孙秀洁;王新宇 | 申请(专利权)人: | 郑州大工高新科技有限公司;大连理工大学重大装备设计与制造郑州研究院 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/455;C23C16/26;B82Y40/00 |
代理公司: | 郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙) 41130 | 代理人: | 边鹏 |
地址: | 450000 河南省郑州市自贸试验区郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 炉体 纳米材料 升降系统 导热板 均热板 导流 制备 气相反应炉 供气系统 炉体下部 混气腔 炉门 炉腔 开口 升降台 气密性结构 真空管式炉 炉体支架 不均匀 气管 连通 密封 体内 生长 外部 | ||
1.一种用于制备纳米材料的气相反应炉,其组成包括:炉体,所述炉体安装在炉体支架上,其特征在于:还包括供气系统、升降系统,所述供气系统设置在所述炉体的外侧并通过气管与所述炉体连通,所述炉体内设有上部导热板、导流均热板、炉腔、两个混气腔,所述炉体下部设有开口,所述上部导热板和两个所述导流均热板包裹在所述炉腔外部,所述混气腔位于所述导流均热板的外侧;在所述炉体下方还设有升降系统,所述升降系统上部设有升降台、炉门、下部导热板,所述炉门与所述炉体下部开口采用气密性结构密封。
2.根据权利要求1所述的用于制备纳米材料的气相反应炉,其特征在于:两套所述供气系统通过气管分别与两个混气腔连通,在所述炉体的外侧还分别设有左侧排气孔和右侧排气孔,所述左侧排气孔和所述右侧排气孔也与所述混气腔连通。
3.根据权利要求1所述的用于制备纳米材料的气相反应炉,其特征在于:在所述炉体内还设有若干加热装置,所述加热装置位于所述炉腔内壁的外侧,其下部穿过所述导流均热板插入到所述炉腔的中部。
4.根据权利要求1所述的用于制备纳米材料的气相反应炉,其特征在于:所述导流均热板为中间设有凸起导流的多孔气体通过板。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的