[发明专利]铂金属化

权利要求书

1.一种传感器(100)，包括：

·衬底(406)；

·铂组件(411)，所述铂组件(411)具有面向所述衬底(406)的第一表面和背向所述衬底(406)的第二表面；

其特征在于，包括：

·保护性覆盖物，所述保护性覆盖物位于所述铂组件(411)上，所述保护性覆盖物包括：

o一个或多个层，所述一个或多个层中的至少一个层包括吸氧材料(412)，

o下表面，所述下表面与所述铂组件(411)的所述第二表面物理接触，以及

o上表面。

2.根据权利要求1所述的传感器(100)，其特征在于，所述下表面属于包括吸氧材料(412)的层。

3.根据权利要求1或2所述的传感器(100)，其特征在于，所述吸氧材料是包括选自Ta、Nb、V、Hf、Zr、Ti、Y、和Sc的一种或多种元素的金属材料。

4.根据权利要求3所述的传感器(100)，其特征在于，所述一种或多种元素形成包括所述吸氧材料(412)的所述层的至少95at％。

5.根据权利要求4所述的传感器(100)，其特征在于，包含所述吸氧材料(412)的所述层由Ta组成。

6.根据权利要求1或2所述的传感器(100)，其特征在于，暴露的所述上表面属于由所述吸氧材料的氧化物组成的层。

7.根据权利要求1或2所述的传感器(100)，其特征在于，所述保护性覆盖物具有多于一层，并且所述上表面属于由铂组成的层。

8.根据权利要求1或2所述的传感器(100)，其特征在于，所述包括吸氧材料的所述层具有从1nm至20nm的厚度。

9.根据权利要求1或2所述的传感器(100)，其特征在于，所述铂组件(411)是电阻器。

10.根据权利要求1所述的传感器(100)，包括在所述衬底(406)上方的一个或多个电子组件(403)，其中所述铂组件(411)是在所述电子组件中的至少一个上方的铂层(411)，所述第一表面面向所述电子组件(403)中的至少一个而所述第二表面背向所述电子组件(403)中的至少一个。

11.根据权利要求10所述的传感器(100)，其特征在于，所述一个或多个电子组件(403)形成电响应外部刺激的电路。

12.根据权利要求11所述的传感器(100)，其特征在于，所述衬底(406)包括柔性隔膜，并且其中所述外部刺激是压力。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的传感器(100)，其特征在于，所述一个或多个电子组件(403)和所述衬底(406)由电绝缘区域(104)分开和/或其中所述一个或多个电子组件(403)和所述铂层(411)由电绝缘区域(407、409)分开，其中每个电绝缘区域选自耗尽区、介电区或两者的组合。

14.一种用于形成传感器(100)的方法，所述方法包括：

·提供衬底(406)；

·提供铂组件(411)，使得其第一表面面向所述衬底(406)以及其第二表面背向所述衬底(406)，

·在所述铂组件(411)上提供保护性覆盖物，其特征在于，所述保护性覆盖物包括：

o一个或多个层，所述一个或多个层中的至少一个层包括吸氧材料(412)，

o下表面，所述下表面与所述铂组件(411)的所述第二表面物理接触，以及

o上表面。