[发明专利]镀膜治具及镀膜方法

权利要求书

1.一种镀膜治具，其特征在于，包括：承载组件(1)和压片组件(2)，所述承载组件(1)设有外凸圆柱面，所述压片组件(2)与所述承载组件(1)可拆卸连接；

当所述压片组件(2)与所述承载组件(1)连接时，所述压片组件(2)抵接所述外凸圆柱面；

所述压片组件(2)用于将可弯曲变形的镀膜基片固定在所述承载组件(1)上，并使所述镀膜基片沿所述外凸圆柱面的圆周方向弯曲。

2.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述压片组件(2)包括：第一板件(21)和第二板件(22)，所述第一板件(21)上设有凸沿部(211)，所述凸沿部(211)围设形成压片槽(212)；

所述第二板件(22)与所述第一板件(21)可拆卸连接；

当所述第二板件(22)与所述第一板件(21)连接时，所述第二板件(22)抵接所述凸沿部(211)，所述第二板件(22)与所述压片槽(212)的底面间形成夹片区。

3.根据权利要求2所述的镀膜治具，其特征在于，所述凸沿部(211)朝向所述压片槽(212)的一侧设有限位凸起(213)。

4.根据权利要求2所述的镀膜治具，其特征在于，所述第一板件(21)包括：第一圆环部(214)、第一侧沿部(215)和第二侧沿部(216)，所述第一侧沿部(215)和所述第二侧沿部(216)分别位于所述第一圆环部(214)同一直径的两端，且均与所述第一圆环部(214)连接。

5.根据权利要求4所述的镀膜治具，其特征在于，所述第一圆环部(214)的内侧连接有第一内沿部(217)，所述第一内沿部(217)位于所述第一侧沿部(215)和所述第二侧沿部(216)之间。

6.根据权利要求5所述的镀膜治具，其特征在于，所述压片槽(212)沿所述第一圆环部(214)靠近所述第一圆环部(214)轴线的侧边缘和所述第一内沿部(217)靠近所述第一圆环部(214)轴线的侧边缘延伸。

7.根据权利要求2所述的镀膜治具，其特征在于，所述第二板件(22)上连接有压紧件(221)，所述压紧件(221)沿所述压片槽(212)延伸；

当所述第二板件(22)与所述第一板件(21)连接时，所述压紧件(221)与所述压片槽(212)的底面之间形成夹片缝隙。

8.根据权利要求5所述的镀膜治具，其特征在于，所述第二板件(22)包括：第二圆环部(222)和第二内沿部(223)，所述第二圆环部(222)的内侧连接所述第二内沿部(223)；

所述第二圆环部(222)包括：第一连接部和第二连接部，所述第二内沿部(223)位于所述第一连接部和所述第二连接部之间，所述第一连接部用于连接所述第一侧沿部(215)，所述第二连接部用于连接所述第二侧沿部(216)。

9.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述承载组件(1)包括：架板(11)和顶板(12)，所述架板(11)与所述顶板(12)连接，所述外凸圆柱面设置在所述顶板(12)背离所述架板(11)的一侧。

10.一种镀膜方法，其特征在于，所述镀膜方法包括如下步骤：

将镀膜基片安装在压片组件(2)上；

将压片组件(2)与承载组件(1)连接，并使压片组件(2)和镀膜基片均沿外凸圆柱面的圆周方向弯曲；

将承载组件(1)安装至旋转式溅射镀膜机的工作腔，并使镀膜基片上各点与靶材之间的距离相等。