[发明专利]供给装置、涂覆装置以及供给方法

说明书

本发明提供一种能够效率良好地去除粘度高的液体中的溶解气体的供给装置、包括所述供给装置的涂覆装置、以及供给方法。所述供给装置(30)是用于将高粘度的处理液供给至供给目标(22)的供给装置。所述供给装置(30)包括对贮存处理液的槽(31)与所述供给口(320)进行流路连接的送液配管(32)、以及从下游侧依序介插在送液配管中的主泵(33)、脱气单元(34)、辅助泵(35)及过滤器(36)。辅助泵(35)在脱气单元(34)的上游侧，朝向脱气单元对处理液进行加压。脱气单元具有收容在壳体内部的多个中空纤维膜、及对中空纤维膜的外侧空间进行减压的减压机构。由此，能够效率良好地去除粘度高的处理液中的溶解气体，并且能够使装置小型化。

技术领域

本发明涉及一种将高粘度的液体供给至供给目标的供给装置、包括所述供给装置的涂覆装置、以及供给高粘度液体的供给方法。

背景技术

以往，在液晶显示装置用玻璃基板、半导体基板、等离子体显示面板(PlasmaDisplay Panel，PDP)用玻璃基板、光掩模(photo mask)用玻璃基板、彩色滤光片(colorfilter)用基板、记录盘(disk)用基板、太阳能电池用基板、电子纸(paper)用基板等精密电子装置用基板、矩形玻璃基板、薄膜液晶用柔性(flexible)基板、有机电致发光(Electroluminescence，EL)用基板(以下简称作“基板”)的制造工序中，使用在基板的表面涂覆光致抗蚀剂(photo resist)等液体的涂覆装置。关于以往的涂覆装置，例如在专利文献1中有所记载。专利文献1的涂覆装置针对由沿水平方向移动自如的载台(stage)所吸附保持的基板，从具有狭缝(slit)状喷出口的缝模(slit die)喷出涂覆液。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2017-23990号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

此种涂覆装置中，若在液体中存在溶解气体，则容易在狭缝喷嘴中产生所谓的“起泡”。一旦产生“起泡”，则有时无法从喷出口均匀地涂覆液体，从而导致涂覆膜的均匀性下降。因此，以往进行从涂覆前的液体中去除溶解气体的脱气处理。以往的涂覆装置中，通过将贮存有涂覆前的液体的脱气用的槽内设为负压，来预先使液体中的溶解气体气泡化。在液体粘度低的情况下，能够使液体中产生的气泡容易地上浮至液面，从而排出至容器外。

但是，在使用高粘度液体的情况下，气泡上浮至液面需要耗费非常长的时间。尤其，存在越细小的气泡越难以上浮的倾向。因此，在连续进行涂覆工序等液体消耗速度大的情况下，必须增加脱气用的槽数。其结果，产生装置整体大型化的问题。近年来，在柔性元件或电池的制造工序中，对成为处理对象的面涂覆高粘度液体的装置的需求提高。伴随于此，要求能够从高粘度液体中效率良好地去除溶解气体而不增大装置的体积规格的技术。

本发明是有鉴于如上所述的情况而完成，其目的在于提供一种能够效率良好地去除粘度高的液体中的溶解气体的供给装置、包括所述供给装置的涂覆装置、以及供给方法。

[解决问题的技术手段]

为了解决所述问题，本申请的第一发明是一种供给装置，其用于将高粘度的处理液供给至供给目标，所述供给装置包括：槽，贮存所述处理液；供给口，将所述处理液供给至所述供给目标；送液配管，对所述槽与所述供给口进行流路连接；主泵(main pump)，介插在所述送液配管中，从所述槽朝向所述供给口输送所述处理液；脱气单元，在所述主泵的上游侧介插在所述送液配管中；辅助泵(assist pump)，在所述脱气单元的上游侧介插在所述送液配管中，朝向所述脱气单元对所述处理液进行加压；以及过滤器，在所述脱气单元的上游侧介插在所述送液配管中，所述脱气单元包括：筒状的壳体(casing)；多个中空纤维膜，收容在所述壳体的内部；以及减压机构，对所述壳体的内部且所述中空纤维膜外侧的空间进行减压。