[发明专利]基板处理设备

权利要求书

1.一种基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统包含：

至少一直送移载装置，其用以承载多个固持架；所述直送移载装置用以使多个所述固持架沿一直送路径移动；各个所述固持架用以固持一基板，以使所述基板吊挂于空中；

至少两个回送移载装置，两个所述回送移载装置邻近于所述直送移载装置设置，各个所述回送移载装置用以承载多个所述固持架；各个所述回送移载装置与所述直送移载装置相邻接的两个位置分别定义为一入料位置及一出料位置，所述直送移载装置用以使多个所述固持架沿所述直送路径，由各个所述入料位置移动至相对应的所述出料位置；各个所述回送移载装置用以使多个所述固持架由所述出料位置沿一回送路径移动至所述入料位置；其中，所述回送路径与所述直送路径共同形成一循环路径；

至少两个基板处理装置，两个所述循环路径上分别设置有一个所述基板处理装置，各个所述基板处理装置用以对设置多个所述固持架上的多个所述基板进行预定处理。

2.依据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述直送移载装置包含有至少一第一移载装置，所述第一移载装置包含一第一承载机构及一第一移动模块，所述第一承载机构用以承载多个所述固持架，所述第一移动模块用以使设置于所述第一承载机构上的多个所述固持架沿所述直送路径移动；所述回送移载装置包含：

至少一第二移载装置，其包含一第二承载机构及一第二移动模块，所述第二承载机构用以承载多个所述固持架，所述第二移动模块用以使设置于所述第二承载机构上的多个所述固持架沿一第一旁路路径移动；

一第一转换装置，其用以将设置于所述第一承载机构上的所述固持架及其所夹持的所述基板，移载至所述第二承载机构；

至少一第三移载装置，其包含一第三承载机构及一第三移动模块，所述第三承载机构用以承载多个所述固持架，所述第三移动模块用以使设置于所述第三承载机构上的多个所述固持架沿一第二旁路路径移动；

一第二转换装置，其用以将设置于所述第二承载机构上的所述固持架，移载至所述第三承载机构；

至少一第四移载装置，其包含一第四承载机构及一第四移动模块，所述第四承载机构用以承载多个所述固持架，所述第四移动模块用以使设置于所述第四承载机构上的多个所述固持架沿一第三旁路路径移动；

一第三转换装置，其用以将设置于所述第三承载机构上的所述固持架，移载至所述第四承载机构；

一第四转换装置，其邻近于所述第四承载机构及所述第一承载机构设置，所述第四转换装置用以将设置于所述第四承载机构上的所述固持架，移载至所述第一承载机构；

其中，所述第一旁路路径不同于所述第二旁路路径，所述第二旁路路径不同于所述第三旁路路径，所述第一旁路路径不同于所述第三旁路路径，所述第一旁路路径、所述第二旁路路径及所述第三旁路路径共同形成所述回送路径。

3.依据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，其中一个所述基板处理装置用以对设置于各个所述固持架上的所述基板进行一上漆作业，以使各个所述基板的至少一表面覆盖有一漆料；另一个所述基板处理装置用以对设置于各个所述固持架上的所述基板进行一烘烤作业，以使各个所述基板的表面的漆料固化。

4.依据权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统还包含一清洗装置，其设置于所述回送路径上，所述回送移载装置能使多个所述固持架通过所述清洗装置，而所述清洗装置用以对多个所述固持架进行一清洗作业。

5.依据权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于，所述第一转换装置、所述第二转换装置、所述第三转换装置及所述第四转换装置分别具有一固持组件及一旋转机构，各个所述固持组件能固持所述固持架，且而各个所述旋转机构能使所述固持组件所固持的所述固持架旋转一预定角度。