[发明专利]内管调整装置有效
申请号: | 201910526342.X | 申请日: | 2019-06-18 |
公开(公告)号: | CN110265330B | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 李天涯;陈伯廷;吴宗祐;林宗贤 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京市一法律师事务所 11654 | 代理人: | 刘荣娟 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 调整 装置 | ||
1.一种内管调整装置,用于调整炉管机台的内管位置,其特征在于,包括:
法兰;
设于所述法兰边缘的至少一组滑动轨道,每组滑动轨道包括相对设置的两个滑动轨道;
可移动地设于所述滑动轨道上的马达;
一端与所述马达连接的运动轴杆;
套设于所述内管上的支撑环,所述支撑环的边缘设有与所述运动轴杆联动的支撑耳;以及,
控制所述马达转动的控制器;
定位杆,所述定位杆的一端与所述支撑耳可拆卸连接,另一端为供所述运动轴杆穿过的环状结构,所述定位杆垂直于所述支撑环所在的平面。
2.如权利要求1所述的内管调整装置,其特征在于,所述法兰的内圈设有内管台,所述支撑环放置于所述内管台上。
3.如权利要求1所述的内管调整装置,其特征在于,所述法兰的边缘垂直分布有两组滑动轨道,且每组滑动轨道中的两个滑动轨道的中心连线经所述法兰的内圆圆心。
4.如权利要求1所述的内管调整装置,其特征在于,所述运动轴杆的另一端与所述支撑耳可拆卸连接。
5.如权利要求4所述的内管调整装置,其特征在于,所述支撑耳设有供所述运动轴杆穿入的连接孔,所述运动轴杆平行于所述支撑环所在的平面。
6.如权利要求5所述的内管调整装置,其特征在于,所述运动轴杆与所述连接孔螺纹连接。
7.如权利要求1所述的内管调整装置,其特征在于,所述支撑耳设有供所述定位杆穿入的定位孔。
8.如权利要求1或7所述的内管调整装置,其特征在于,所述定位杆的一端设有支撑所述支撑耳的支撑部。
9.如权利要求1所述的内管调整装置,其特征在于,所述运动轴杆与所述环状结构螺纹连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造