[发明专利]用于沉积渐变厚度的非发射层的沉积器和印刷头在审

专利信息
申请号: 201910527045.7 申请日: 2019-06-18
公开(公告)号: CN110620190A 公开(公告)日: 2019-12-27
发明(设计)人: W·E·奎因;G·麦格劳;G·科塔斯;徐欣;J·J·布朗 申请(专利权)人: 环球展览公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56
代理公司: 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 代理人: 高敏
地址: 美国新*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 孔口 递送 排气孔口 沉积器 发射层 印刷头 渐变 沉积 安置 申请
【权利要求书】:

1.一种沉积器装置,其包含:

第一排气孔口和第二排气孔口;和

安置于所述第一排气孔口与所述第二排气孔口之间的多个递送孔口,

其中所述多个递送孔口的第一孔口具有第一长度,并且所述多个递送孔口的第二孔口具有第二长度,并且

其中所述第一长度长于所述第二长度。

2.根据权利要求1所述的装置,其进一步包含:

经第一歧管联接到所述第一递送孔口的第一气体控制器,和

经第二歧管联接到所述第二递送孔口的第二气体控制器。

3.根据权利要求1所述的装置,其中所述多个递送孔口的第三孔口具有第三长度,并且

其中所述第二长度长于所述第三长度。

4.根据权利要求3所述的装置,其进一步包含:

经第三歧管联接到所述第三孔口的第三气体控制器。

5.根据权利要求3所述的装置,其中所述第一孔口被配置成沉积具有在0.3与3mm之间的第一长度的膜的第一段,其对应于第一发射装置中的传输层,

其中所述第二孔口被配置成沉积具有为所述第一长度的大约75%的第二长度的膜的第二段,其对应于第二发射装置中的传输层,并且

其中所述第三孔口被配置成沉积具有为所述第一长度的大约55%的第三长度的膜的第三段,其对应于第三发射装置中的传输层。

6.根据权利要求1所述的装置,其中所述多个递送孔口连接到共同递送集气室。

7.根据权利要求1所述的装置,其中所述第一孔口被分成两个部分以形成第一孔口组,并且

其中所述第二孔口被分成两个部分以形成第二孔口组。

8.根据权利要求7所述的装置,其中所述第一孔口组具有第一长度和宽度,并且所述第二孔口组具有第二长度和宽度,并且

其中所述第一孔口的第一厚度大于所述第二孔口的第二厚度。

9.根据权利要求8所述的装置,其中所述多个递送孔口的第三孔口具有第三长度,

其中所述第二长度长于所述第三长度,并且

其中所述第三孔口被分成两个部分以形成第三孔口组。

10.一种沉积器装置,其包含:

第一排气孔口和第二排气孔口;和

安置于所述第一排气孔口与所述第二排气孔口之间的多个递送孔口,其中所述多个递送孔口延伸穿过具有可变厚度的膜,

其中所述多个递送孔口的第一孔口穿过具有第一厚度的所述膜的一部分,并且所述多个递送孔口的第二孔口穿过具有第二厚度的所述膜的一部分,并且

其中所述第一厚度小于所述第二厚度。

11.根据权利要求10所述的装置,其中所述多个递送孔口的所述第一孔口具有第一宽度,并且所述多个递送孔口的所述第二孔口具有第二宽度,并且其中所述第一宽度宽于所述第二宽度。

12.根据权利要求11所述的装置,其中所述多个递送孔口的第三孔口具有第三宽度,并且

其中所述第二宽度宽于所述第三宽度。

13.根据权利要求12所述的装置,其中所述第一孔口被配置成沉积具有在10μm到50μm之间的第一孔口宽度的膜的第一段,

其中所述第二孔口被配置成以所述第一宽度的大约100%到150%的第二孔口宽度沉积膜的第二段,并且

其中所述第三孔口被配置成以所述第一宽度的大约100%到200%的第三孔口宽度沉积膜的第三段。

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