[发明专利]超声波指纹识别传感器及其制备方法、显示装置

权利要求书

1.一种超声波指纹识别传感器，包括接收电极、驱动电极以及设置于所述接收电极与所述驱动电极之间的压电薄膜层，其特征在于，还包括谐振空腔，所述谐振空腔用于增大所述压电薄膜层的振动幅度；所述谐振空腔形成于所述驱动电极远离所述压电薄膜层的一侧；所述驱动电极远离所述压电薄膜层的一侧设有支撑体，所述支撑体远离所述驱动电极的一侧设有保护层，所述驱动电极、所述支撑体以及所述保护层围成所述谐振空腔；

所述接收电极在所述保护层上的正投影与所述驱动电极在所述保护层上的正投影存在重叠区域；

所述驱动电极驱动所述压电薄膜层振动发出超声波信号，所述超声波信号朝着所述接收电极的方向发射，并穿过所述接收电极，所述超声波信号遇到指纹后反射给所述接收电极，所述接收电极接收反射回来的所述超声波信号，再通过所述压电薄膜层形成用于识别指纹的电信号。

2.根据权利要求1所述的超声波指纹识别传感器，其特征在于，所述谐振空腔为密闭的空腔。

3.根据权利要求1所述的超声波指纹识别传感器，其特征在于，所述谐振空腔的横截面为多边形、圆形或椭圆形。

4.根据权利要求1所述的超声波指纹识别传感器，其特征在于，所述超声波指纹识别传感器包括多个间隔设置的所述接收电极以及多个所述谐振空腔，所述谐振空腔与所述接收电极互相对应。

5.根据权利要求1所述的超声波指纹识别传感器，其特征在于，所述驱动电极为透明的平面电极，所述驱动电极覆盖所述压电薄膜层。

6.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求1-5任一所述的超声波指纹识别传感器以及显示单元，所述超声波指纹识别传感器贴合于所述显示单元。

7.根据权利要求6所述的显示装置，其特征在于，所述超声波指纹识别传感器覆盖所述显示单元。

8.一种如权利要求1所述的超声波指纹识别传感器的制备方法，其特征在于，包括：

形成接收电极；

在所述接收电极之上形成压电薄膜层；

在所述压电薄膜层之上形成驱动电极；

在所述驱动电极之上形成谐振空腔；

所述谐振空腔形成于所述驱动电极远离所述压电薄膜层的一侧；所述驱动电极远离所述压电薄膜层的一侧设有支撑体，所述支撑体远离所述驱动电极的一侧设有保护层，所述驱动电极、所述支撑体以及所述保护层围成所述谐振空腔；

所述接收电极在所述保护层上的正投影与所述驱动电极在所述保护层上的正投影存在重叠区域；

所述驱动电极驱动所述压电薄膜层振动发出超声波信号，所述超声波信号朝着所述接收电极的方向发射，并穿过所述接收电极，所述超声波信号遇到指纹后反射给所述接收电极，所述接收电极接收反射回来的所述超声波信号，再通过所述压电薄膜层形成用于识别指纹的电信号；

在所述驱动电极之上形成谐振空腔包括：

在所述驱动电极之上形成牺牲层；

在所述牺牲层之上形成支撑层，在所述支撑层上开设与所述牺牲层连通的贯穿孔；

通过所述贯穿孔，将与所述贯穿孔对应的牺牲层腐蚀，形成槽体；

在所述支撑层之上形成保护层，所述保护层将所述槽体覆盖，形成所述谐振空腔。